MEMS传感器历经四次商业化浪潮 MEMS传感器的发展离不开MEMS技术商业化的推动。1987年，美国加州大学发明了基于表面牺牲层技术的微马达，引起国际学术界的轰动，MEMS进入新纪元。这一...【详情】
