内容概况
晶圆制造过程中有几大重要的步骤：氧化、沉积、光刻、刻蚀、离子注入/扩散等。这几个主要步骤都需要若干种半导体设备，满足不同的需要。设备中应用较为广泛的有氧化炉、沉积设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入机、清洗机、化学研磨设备等。
2020年全球晶圆加工设备市场规模快速回升至648.88亿美元。2025年，全球晶圆加工设备市场规模预计将达到857.27亿美元。2020年，中国大陆晶圆加工设备市场规模达143.58亿美元，全球规模占比增长至22.13%，年复合增速达27.36%。
晶圆加工设备行业为技术密集型行业，生产技术涉及微电子、电气、机械、材料、化学工程、流体力学、自动化、图像识别、通讯、软件系统等多学科、多领域知识的综合运用。晶圆加工设备行业的国际巨头企业的市场占有率很高，特别是在光刻机、检测设备、离子注入设备等方面处于垄断地位，且其在大部分技术领域已采取了知识产权保护措施，因此晶圆加工设备行业的技术壁垒非常高。中国大陆少数企业经过了十年以上的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，在避免知识产权纠纷的前提下，成功推出了差异化的产品，得到国内外客户的认可，产品走向了国际市场。
产业研究院发布的《2023-2028年中国晶圆加工设备行业投资规划及前景预测报告》共十四章。首先介绍了晶圆加工设备行业的发展环境，接着分析了国内外半导体设备以及晶圆加工设备行业的发展情况，然后分析了主要晶圆加工设备的行业运行情况，包括光刻设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、化学机械抛光设备、清洗设备离子注入设备以及其他设备，并分析了我国晶圆加工设备下游晶圆制造行业的发展情况。随后，报告对国内外晶圆加工设备行业重点企业及项目投资案例做了介绍分析，最后重点分析了行业的发展趋势。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、中国半导体行业协会、海关总署、产业研究院、产业研究院市场调查中心、中国半导体行业协会以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对行业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对晶圆加工设备行业有个系统深入的了解、或者想投资晶圆加工设备行业，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 晶圆加工设备概述
第一节、晶圆加工设备基本介绍
一、晶圆加工设备价值
二、晶圆加工设备分类
三、晶圆加工设备特点
四、行业的上下游情况
第二节、晶圆加工相关工艺
一、晶圆加工流程
二、热处理工艺
三、光刻工艺
四、刻蚀工艺
五、薄膜沉积工艺
六、化学机械研磨工艺
七、清洗工艺
第二章 2020-2022年中国晶圆加工设备行业发展综述
第一节、中国晶圆加工设备行业政策环境
一、行业政策概览
二、行业规划政策
三、行业税收政策
第二节、中国晶圆加工设备行业发展环境
一、半导体设备行业基本情况
二、全球半导体设备行业发展情况
三、全球半导体设备行业竞争格局
四、国内半导体设备行业政策分析
五、中国半导体设备行业发展情况
六、国内半导体设备行业发展需求
第三节、晶圆加工设备行业发展情况
一、全球晶圆加工设备市场规模
二、全球晶圆加工设备细分市场
三、中国晶圆加工设备市场规模
四、中国集成电路制造设备国产化潜力
第四节、中国晶圆加工设备行业投招标情况
一、半导体设备行业招投标情况
二、晶圆加工设备厂商中标现状
三、晶圆加工设备厂商中标动态
四、晶圆加工设备行业投资风险
第五节、晶圆加工设备行业发展挑战及建议
一、晶圆加工设备行业发展挑战
二、晶圆加工设备行业发展建议
第三章 2020-2022年中国光刻设备行业发展综述
第一节、光刻设备概述
一、光刻机基本介绍
二、光刻设备技术介绍
三、EUV光刻机制造工艺
四、主流光刻机产品对比
第二节、全球光刻设备行业发展情况分析
一、全球光刻机行业发展历程
二、全球光刻机行业上下游布局
三、全球光刻机行业销量规模
四、全球光刻机行业市场规模
五、全球光刻机产品结构分析
六、全球光刻机行业竞争格局
第三节、中国光刻设备行业发展情况分析
一、国内光刻机产业政策
二、国内光刻机产业链布局
三、国内光刻机研发动态
四、光刻机行业面临问题
五、国产光刻机发展建议
六、国产光刻机破局之路
第四节、2020-2022年中国光刻机进出口数据分析
一、进出口总量数据分析
二、主要贸易国进出口情况分析
三、主要省市进出口情况分析
第四章 2020-2022年中国薄膜沉积设备行业发展综述
第一节、薄膜沉积设备概述
一、薄膜沉积设备定义
二、薄膜沉积设备分类
第二节、薄膜沉积设备市场发展情况
一、全球薄膜沉积设备市场规模
二、全球薄膜沉积设备竞争态势
三、国内薄膜沉积设备招标情况
四、国内薄膜沉积设备竞争态势
五、薄膜沉积设备行业面临挑战
第三节、化学气相沉积（CVD）设备行业发展情况
一、CVD技术概述
二、CVD设备产业链全景
三、CVD设备行业发展现状
四、CVD设备行业竞争格局
第四节、薄膜沉积设备行业发展前景
一、薄膜沉积设备行业面临机遇
二、薄膜沉积设备行业风险分析
三、薄膜沉积设备行业发展趋势
第五章 2020-2022年中国刻蚀设备行业发展综述
第一节、刻蚀设备概述
一、半导体刻蚀技术
二、刻蚀工艺分类
三、刻蚀先进工艺
四、刻蚀设备原理
五、刻蚀设备分类
六、刻蚀设备产业链
第二节、全球刻蚀设备行业发展情况
一、刻蚀设备市场规模
二、刻蚀设备市场结构
三、刻蚀设备竞争格局
第三节、中国刻蚀设备行业发展情况
一、刻蚀行业驱动因素
二、刻蚀设备国产化情况
三、刻蚀技术水平发展状况
四、刻蚀领域技术水平差距
五、刻蚀设备国产替代机遇
第六章 2020-2022年中国化学机械抛光设备行业发展状况
第一节、CMP设备概述
一、CMP技术概念
一、CMP设备应用场景
二、CMP设备基本类型
第二节、全球CMP设备行业发展情况
一、全球CMP设备市场分布
二、全球CMP设备竞争格局
三、全球CMP设备市场规模
第三节、中国CMP设备行业发展情况
一、CMP设备市场规模
二、CMP设备市场分布
三、CMP设备市场集中度
四、CMP设备行业面临挑战
第四节、CMP设备行业投资风险
一、市场竞争风险
二、技术创新风险
三、技术迭代风险
四、客户集中风险
五、政策变动风险
第五节、CMP设备技术发展趋势
一、设备抛光头分区精细化
二、清洗单元多能量组合化
三、设备工艺控制智能化
四、预防性维护精益化
第七章 2020-2022年中国清洗设备行业发展综述
第一节、清洗设备行业概述
一、半导体清洗介绍
二、半导体清洗工艺
三、清洗设备的主要类型
四、清洗设备的清洗原理
第二节、全球清洗设备行业发展情况
一、全球清洗设备行业市场规模
二、全球清洗设备行业竞争格局
三、全球清洗设备公司技术布局
四、全球清洗设备市场结构分布
第三节、中国清洗设备行业发展情况
一、国内清洗设备企业发展情况
二、国内清洗设备行业技术发展
三、国内清洗设备市场发展空间
第四节、国内清洗设备厂商中标情况
一、中标情况概览
二、长江存储
三、华虹无锡
四、上海华力
第八章 2020-2022年中国离子注入设备行业发展综述
第一节、离子注入机概述
一、离子注入工艺
二、离子注入机组成
三、离子注入机类型
四、离子注入机工作原理
第二节、离子注入机应用领域分析
一、光伏应用领域
二、集成电路应用领域
三、面板AMOLED领域
第三节、全球离子注入设备发展状况
一、行业市场价值
二、全球市场规模
三、全球市场格局
四、行业进入壁垒
第四节、国内离子注入设备行业发展情况
一、行业相关政策
二、行业供求分析
三、行业市场规模
四、细分市场分析
五、市场竞争格局
六、行业发展趋势
第九章 2020-2022年中国其他晶圆加工设备行业发展分析
第一节、涂胶显影设备行业
一、涂胶显影设备介绍
二、涂胶显影工艺流程
三、涂胶显影设备行业规模
四、涂胶显影设备行业格局
第二节、去胶设备行业
一、去胶设备工艺介绍
二、去胶设备行业市场规模
三、去胶设备行业竞争格局
四、国内去胶设备企业发展
第三节、热处理设备行业
一、热处理设备分类
二、热处理设备技术特点
三、热处理设备行业规模
四、热处理设备竞争格局
五、热处理设备中标情况
第十章 2020-2022年晶圆加工设备行业下游发展分析——晶圆制造行业
第一节、晶圆制造行业概述
一、行业发展历程
二、企业经营模式
三、行业技术发展
第二节、全球晶圆制造业发展分析
一、全球晶圆制造业发展态势
二、全球晶圆制造产能分析
三、全球晶圆代工市场规模
四、全球晶圆代工市场份额
五、全球晶圆代工企业扩产
第三节、全球晶圆代工产业格局
一、专属晶圆代工厂排名
二、晶圆代工TOP10企业
三、晶圆二线专属代工企业
四、IDM兼晶圆代工企业
第四节、中国晶圆制造业发展分析
一、晶圆制造行业规模
二、晶圆制造行业产量
三、晶圆制造区域发展
四、晶圆制造并购分析
五、芯片制程升级需求
六、晶圆制造发展机遇
第五节、中国晶圆代工市场运行分析
一、晶圆代工市场发展规模
二、国内晶圆厂生产线发展
三、本土晶圆代工公司排名
四、晶圆代工市场发展预测
第十一章 2019-2021年国外晶圆加工设备主要企业经营情况
第一节、应用材料（AMAT）
一、企业发展概况
二、2019年经营状况
三、2020年经营状况
四、2021年经营状况
第二节、泛林半导体（Lam）
一、企业发展概况
二、2019年经营状况
三、2020年经营状况
四、2021年经营状况
第三节、东京电子（TEL）
一、企业发展概况
二、2019年经营状况
三、2020年经营状况
四、2021年经营状况
第四节、先晶半导体（ASMI）
一、企业发展概况
二、2019年经营状况
三、2020年经营状况
四、2021年经营状况
第十二章 2019-2021年国内晶圆加工设备主要企业经营情况
第一节、拓荆科技
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第二节、北方华创
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第三节、中微公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第四节、盛美上海
一、企业发展概况
二、企业主营产品
三、经营效益分析
四、业务经营分析
五、财务状况分析
六、核心竞争力分析
七、公司发展战略
八、未来前景展望
第五节、至纯科技
一、企业发展概况
二、企业主要业务
三、经营效益分析
四、业务经营分析
五、财务状况分析
六、核心竞争力分析
七、公司发展战略
八、未来前景展望
第六节、万业企业
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第七节、屹唐股份
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第八节、华海清科
一、企业发展概况
二、抛光垫产品发展
三、经营效益分析
四、业务经营分析
五、财务状况分析
六、核心竞争力分析
七、公司发展战略
八、未来前景展望
第十三章 中国晶圆加工设备行业项目投资案例
第一节、拓荆科技原子层沉积（ALD）设备研发与产业化项目
一、项目基本情况
二、项目投资概算
三、项目进度安排
四、项目效益分析
第二节、盛美上海清洗设备研发项目
一、项目基本情况
二、项目价值分析
三、项目投资概算
四、项目效益分析
第三节、屹唐股份刻蚀设备研发项目
一、项目基本情况
二、项目进度安排
三、项目价值分析
四、项目效益分析
第四节、华海清科化学机械抛光设备项目投资案例
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概算
四、项目效益分析
第十四章 2023-2028年晶圆加工设备行业发展前景及趋势预测
第一节、晶圆加工设备行业发展前景
一、行业面临机遇
二、国产替代前景
三、下游市场趋势
第二节、2023-2028年中国晶圆加工设备行业预测分析
一、2023-2028年中国晶圆加工设备行业影响因素分析
图表目录
图表：集成电路主要设备投资比例
图表：晶圆制造主要步骤使用工艺及设备
图表：主要晶圆加工设备介绍及其国内外制造企业
图表：氧化工艺的用途
图表：光刻工艺流程图
图表：光刻工艺流程
图表：等离子刻蚀原理
图表：湿法刻蚀和干法刻蚀对比
图表：离子注入与扩散工艺比较
图表：离子注入机示意图
图表：离子注入机细分市场格局
图表：IC集成电路离子注入机市场格局
图表：三种CVD工艺对比
图表：蒸发和溅镀PVD工艺对比
图表：半导体清洗的污染物种类、来源及危害
图表：近年与半导体产业链相关的扶持政策
图表：2010-2020年全球半导体设备销售额
图表：2020年全球前十大半导体设备厂商销售额
图表：半导体设备产业政策
图表：2012-2020年中国大陆半导体设备销售额
图表：国产半导体装备产业销售额
图表：2020 年全球半导体设备销售额和占比
图表：2020年全球各类晶圆制造设备市场规模
图表：2014-2020年全球各地区集成电路制造设备市场规模
图表：国产集成电路制造设备国产化进程
图表：2021年国内半导体设备招投标数据总览
图表：2022年国内半导体设备招投标数据总览
图表：2021年北方华创中标数据
图表：2021年中微公司中标数据
图表：2021年盛美半导体中标数据
图表：2021年沈阳拓荆中标数据
图表：2021年屹唐半导体中标数据
图表：2021年中国电子科技集团中标数据
图表：2021年至纯科技中标数据
图表：2022年北方华创中标数据
图表：2022年中微公司中标数据
图表：2022年盛美半导体中标数据
图表：2022年至纯科技中标数据
图表：EUV光刻机制造工艺难点
图表：EUV光刻机优势
图表：EUV光刻技术演示
图表：EUV与ArF光刻机对比分析
图表：光刻机领域发展历程
图表：2016-2025年全球光刻机年度销量及预测
图表：2016-2025年全球光刻机市场规模
图表：2020年全球光刻机产品结构（按销量计）
图表：2020年全球光刻机产品结构（按营销额计）
图表：全球光刻机行业竞争格局
图表：国产光刻机产业链
图表：国产光刻机破局要点
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进出口总额
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进出口结构
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机贸易顺差规模
图表：2019-2020年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口区域分布
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口市场集中度（分国家）
图表：2020年主要贸易国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口市场情况
图表：2021年主要贸易国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口市场情况
图表：2019-2020年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口区域分布
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口市场集中度（分国家）
图表：2020年主要贸易国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口市场情况
图表：2021年主要贸易国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口市场情况
图表：2019-2021年主要省市制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口市场集中度（分省市）
图表：2020年主要省市制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口情况
图表：2021年主要省市制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机进口情况
图表：2019-2021年中国制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口市场集中度（分省市）
图表：2020年主要省市制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口情况
图表：2021年主要省市制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机出口情况
图表：PVD、CVD及ALD成膜效果简示
图表：薄膜沉积技术分类
图表：2019-2022年全球半导体薄膜沉积设备市场规模
图表：半导体设备投资占比情况
图表：2020年薄膜沉积设备市场结构
图表：PVD及CVD在全球设备市场合计市占率
图表：2019年全球ALD设备市场份额
图表：2019年全球CVD设备市场份额
图表：2020年PVD市场份额
图表：国内主要晶圆制造产线设备招标统计
图表：CVD技术对比
图表：CVD分类
图表：CVD设备产业链
图表：2017-2020年全球薄膜沉积设备市场规模及增速
图表：2020年薄膜沉积设备细分市场结构占比情况
图表：2020年全球CVD设备市场份额
图表：刻蚀是去除沉积层形成电路图形的工艺
图表：2021主流刻蚀工艺份额
图表：刻蚀工艺按材料分类
图表：干法刻蚀与湿法刻蚀对比分析
图表：不同工艺的刻蚀次数
图表：先进制程刻蚀方法
图表：刻蚀工艺技术简易原理
图表：电容性和电感性等离体刻蚀设备
图表：刻蚀设备产业链
图表：2013-2025年全球刻蚀机市场规模及预测
图表：全球不同刻蚀介质规模占比
图表：2020年全球刻蚀设备竞争格局
图表：国内主要刻蚀设备生产商
图表：各厂商刻蚀设备与刻蚀工艺对比
图表：10 纳米多重模板工艺原理，涉及多次刻蚀
图表：刻蚀领域同行业公司技术对比
图表：硅片制造过程CMP设备应用场景
图表：芯片制造过程CMP设备应用场景
图表：先进封装过程CMP设备应用场景
图表：不同类型的CMP设备
图表：2019年全球CMP设备区域市场分布
图表：2019年全球CMP设备竞争格局
图表：2012-2019年全球CMP设备市场规模
图表：2012-2019年全球CMP设备市场规模
图表：2013-2019年中国大陆CMP设备市场规模
图表：2019年全球CMP设备区域市场分布
图表：国内外CMP设备龙头企业对比
图表：半导体清洗中的污染物种类
图表：清洗步骤贯穿芯片制造流程中的多个工艺环节
图表：工艺进步带来清洗步骤增加
图表：湿法清洗工艺概览
图表：干法清洗工艺概览
图表：各种清洗设备情况
图表：单片清洗原理
图表：槽式清洗原理
图表：单片槽式组合清洗原理
图表：批式旋转喷淋清洗原理
图表：2018-2024年全球半导体清洗设备市场规模及预测
图表：2020年全球半导体清洗设备市场格局
图表：全球清洗设备行业龙头企业对比
图表：主要清洗设备公司技术布局
图表：2019年全球半导体清洗设备结构分布
图表：清洗设备企业几种清洗方法对比
图表：半导体清洗设备的技术路线较多
图表：长江存储清洗设备中标情况
图表：华虹无锡清洗设备中标情况
图表：上海华力二期清洗设备中标情况
图表：离子注入与扩散工艺的比较
图表：离子注入作为掺杂方式的优点
图表：离子注入利用入射离子的能量损耗机制达成靶材内的驻留
图表：离子注入机由5个部分构成
图表：离子射线系统由6大核心零部件构成
图表：射线系统的6大核心零部件的功能区别
图表：离子注入机类型
图表：离子注入机的构成及工作原理
图表：离子注入在N型电池上的应用点概况
图表：离子注入在TOPCon IBC电池背面P-N区域隔离情况
图表：离子注入在集成电路中的应用场景
图表：离子注入在OLED环节的应用
图表：离子注入机在制程设备中的价值比重
图表：全球离子注入机市场规模及增速
图表：中国离子注入机行业主要政策规划
图表：《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》离子注入机应用技术指标
图表：2016-2020年中国离子注入机产量、需求量统计
图表：2016-2020年中国离子注入机市场规模
图表：2016-2020年中国离子注入机细分市场规模
图表：2020年中国离子注入机细分市场结构
图表：全球离子注入机行业领先企业
图表：涂胶显影和喷胶设备介绍
图表：光刻工艺中的涂胶显影
图表：2019-2023年全球涂胶显影设备行业市场规模
图表：2019-2023年中国涂胶显影设备行业市场规模
图表：全球涂胶显影行业市场竞争格局
图表：中国大陆涂胶显影行业市场竞争格局
图表：国内企业芯源微技术进展
图表：主要去胶方式对比
图表：2019-2025年全球去胶设备行业市场规模及增速
图表：2020年全球去胶设备行业竞争格局
图表：屹唐半导体去胶设备技术进展
图表：热处理设备分类
图表：2019-2025年全球半导体热处理设备分类市场规模
图表：全球热处理设备市场格局
图表：全球快速热处理RTP设备市场格局
图表：北方华创中标长江存储设备情况
图表：长江存储热处理设备中标比例
图表：集成电路制造行业发展历程
图表：2020年全球前五大晶圆制造商产能
图表：2014-2019年全球晶圆代工产值
图表：2020年全球晶圆代工市场份额
图表：中国大陆代工在全球晶圆代工市场份额
图表：2021年晶圆代工巨头扩产情况
图表：2021年全球专属晶圆代工TOP10
图表：2015-2021年我国集成电路制造行业市场规模
图表：2011-2021年我国集成电路制造行业总产量
图表：2021年中国集成电路七大区产量统计
图表：中国集成电路产量大区占比
图表：2021年集成电路制造并购事件
图表：2D NAND到3D NAND的技术进步带来抛光步骤增加
图表：逻辑芯片晶圆抛光次数随技术节点进步而增加
图表：集成电路制造的设备投入趋势
图表：2018-2020年中国晶圆代工市场规模
图表：2020年中国大陆本土晶圆代工公司营收排名榜
图表：2018-2019年美国应用材料综合收益表
图表：2018-2019年美国应用材料分部资料
图表：2018-2019年美国应用材料收入分地区资料
图表：2019-2020年美国应用材料综合收益表
图表：2019-2020年美国应用材料分部资料
图表：2019-2020年美国应用材料收入分地区资料
图表：2020-2021年美国应用材料综合收益表
图表：2020-2021年美国应用材料分部资料
图表：2020-2021年美国应用材料收入分地区资料
图表：2018-2019年泛林半导体综合收益表
图表：2018-2019年泛林半导体分部资料
图表：2018-2019年泛林半导体收入分地区资料
图表：2019-2020年泛林半导体综合收益表
图表：2019-2020年泛林半导体分部资料
图表：2019-2020年泛林半导体收入分地区资料
图表：2020-2021年泛林半导体综合收益表
图表：2020-2021年泛林半导体分部资料
图表：2020-2021年泛林半导体收入分地区资料
图表：2018-2019年东京电子综合收益表
图表：2018-2019年东京电子分部资料
图表：2018-2019年东京电子收入分地区资料
图表：2019-2020年东京电子综合收益表
图表：2019-2020年东京电子分部资料
图表：2019-2020年东京电子收入分地区资料
图表：2020-2021年东京电子综合收益表
图表：2020-2021年东京电子分部资料
图表：2020-2021年东京电子收入分地区资料
图表：2018-2019年先晶半导体综合收益表
图表：2018-2019年先晶半导体分部资料
图表：2018-2019年先晶半导体收入分地区资料
图表：2019-2020年先晶半导体综合收益表
图表：2019-2020年先晶半导体分部资料
图表：2019-2020年先晶半导体收入分地区资料
图表：2020-2021年先晶半导体综合收益表
图表：2020-2021年先晶半导体分部资料
图表：2020-2021年先晶半导体收入分地区资料
图表：2018-2021年拓荆科技总资产及净资产规模
图表：2018-2021年拓荆科技营业收入及增速
图表：2019-2020年拓荆科技营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年拓荆科技营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年拓荆科技净利润及增速
图表：2018-2021年拓荆科技营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年拓荆科技净资产收益率
图表：2018-2021年拓荆科技短期偿债能力指标
图表：2018-2021年拓荆科技资产负债率水平
图表：2018-2021年拓荆科技运营能力指标
图表：2018-2021年北方华创总资产及净资产规模
图表：2018-2021年北方华创营业收入及增速
图表：2019-2020年北方华创营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年北方华创营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年北方华创净利润及增速
图表：2018-2021年北方华创营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年北方华创净资产收益率
图表：2018-2021年北方华创短期偿债能力指标
图表：2018-2021年北方华创资产负债率水平
图表：2018-2021年北方华创运营能力指标
图表：2018-2021年中微公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年中微公司营业收入及增速
图表：2019-2020年中微公司营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年中微公司营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年中微公司净利润及增速
图表：2018-2021年中微公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年中微公司净资产收益率
图表：2018-2021年中微公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年中微公司资产负债率水平
图表：2018-2021年中微公司运营能力指标
图表：2018-2021年盛美上海总资产及净资产规模
图表：2018-2021年盛美上海营业收入及增速
图表：2019-2020年盛美上海营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年盛美上海营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年盛美上海净利润及增速
图表：2018-2021年盛美上海营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年盛美上海净资产收益率
图表：2018-2021年盛美上海短期偿债能力指标
图表：2018-2021年盛美上海资产负债率水平
图表：2018-2021年盛美上海运营能力指标
图表：2018-2021年至纯科技总资产及净资产规模
图表：2018-2021年至纯科技营业收入及增速
图表：2019-2020年至纯科技营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年至纯科技营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年至纯科技净利润及增速
图表：2018-2021年至纯科技营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年至纯科技净资产收益率
图表：2018-2021年至纯科技短期偿债能力指标
图表：2018-2021年至纯科技资产负债率水平
图表：2018-2021年至纯科技运营能力指标
图表：2018-2021年万业企业总资产及净资产规模
图表：2018-2021年万业企业营业收入及增速
图表：2019-2020年万业企业营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年万业企业营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年万业企业净利润及增速
图表：2018-2021年万业企业营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年万业企业净资产收益率
图表：2018-2021年万业企业短期偿债能力指标
图表：2018-2021年万业企业资产负债率水平
图表：2018-2021年万业企业运营能力指标
图表：2018-2021年屹唐股份总资产及净资产规模
图表：2018-2021年屹唐股份营业收入及增速
图表：2019-2020年屹唐股份营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年屹唐股份营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年屹唐股份净利润及增速
图表：2018-2021年屹唐股份营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年屹唐股份净资产收益率
图表：2018-2021年屹唐股份短期偿债能力指标
图表：2018-2021年屹唐股份资产负债率水平
图表：2018-2021年屹唐股份运营能力指标
图表：2018-2021年华海清科总资产及净资产规模
图表：2018-2021年华海清科营业收入及增速
图表：2019-2020年华海清科营业收入分行业、产品、地区
图表：2020-2021年华海清科营业收入分行业、产品、地区
图表：2018-2021年华海清科净利润及增速
图表：2018-2021年华海清科营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年华海清科净资产收益率
图表：2018-2021年华海清科短期偿债能力指标
图表：2018-2021年华海清科资产负债率水平
图表：2018-2021年华海清科运营能力指标
图表：ALD设备研发与产业化项目投资预算
图表：ALD设备研发与产业化项目建设规划
图表：盛美上海清洗设备研发项目投资概算
图表：化学机械抛光机产业化项目投资概算
图表：2021-2022年国内晶圆厂扩产规划
图表：2021-2022年国内晶圆厂扩产规划
