内容概况
MEMS（全称为MicroElectromechanicalSystem），即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
从市场规模来看，2020年，中国MEMS市场规模为736.7亿元，同比增长23.2%。随着5G、物联网、云计算等技术的不断进步，国家对于产业数字化转型的持续关注，国内需求不断提升，MEMS将继续扩大。
政策方面，近几年，我国也在不断地支持MEMS产业的发展。2021年1月15日，工信部印发《基础电子元器件产业发展行动计划（2021-2023年）》，明确提出要推动基础电子元器件产业实现突破，并增强关键材料、设备仪器等供应链保障能力。到2023年，力争电子元器件产业销售总额达2.1万亿元，技术创新取得突破。在重点工作中，明确提升产业创新能力，攻克关键核心技术。实施重点产品高端提升行动，其中包括传感类元器件，重点发展新型MEMS传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。此外，在建设科技服务平台时，提出鼓励建设专用电子元器件生产线，为MEMS传感器、滤波器、光通信模块驱动芯片等提供流片服务。2021年3月，国务院发布了《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》，其中提出瞄准人工智能、量子信息、集成电路、生命健康、脑科学、生物育种、空天科技、深地深海等前沿领域，实施一批具有前瞻性、战略性的国家重大科技项目。在集成电路领域，提出集成电路先进工艺和绝缘栅双极型晶体管（IGBT）、微机电系统（MEMS）等特色工艺突破。2021年9月，中国电子元件产业协会发布了《中国电子元件产业“十四五”发展规划》，其中提到重点建设为MEMS传感器芯片提供代工的公共服务平台，打破小批量、多批次、工艺特殊的MEMS传感器发展瓶颈。可以预见，MEMS产业具有较大的发展潜力。
产业研究院发布的《2023-2028年中国微机电系统（MEMS）产业发展预测及投资策略分析报告》共十一章。首先介绍了微机电系统的概念、基本特征，报告对MEMS产业的发展环境、运行情况和应用状况作了详细分析。随后，报告对MEMS产业典型投资项目做了详细分析，并对国内外MEMS重点企业运营情况进行了分析。最后，报告重点分析了MEMS产业投资情况，并对其未来发展前景进行了科学合理的预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、工业和信息化部、产业研究院、产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对产业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对MEMS市场有个系统深入的了解、或者想投资MEMS产业，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 微机电系统（MEMS）产业总览
第一节、MEMS基本介绍
一、概念界定
二、系统特点
三、器件特点
四、工作原理
五、主要分类
第二节、MEMS产业基本特征
一、产业周期性
二、产业区域性
三、产业依附性
第二章 2020-2022年MEMS产业发展环境分析
第一节、经济环境
一、世界经济形势分析
二、国内宏观经济概况
三、工业经济运行状况
四、固定资产投资状况
五、未来经济发展走势
第二节、政策环境
一、产业监管主体部门
二、产业相关政策汇总
三、产业目录引导发展
四、产业发展行动计划
第三节、社会环境
一、居民收入水平
二、居民消费结构
三、社会消费规模
第三章 2020-2022年MEMS产业发展综合分析
第一节、全球MEMS产业发展分析
一、产业发展历程
二、市场发展规模
三、产品市场结构
四、厂商竞争格局
五、应用领域占比
六、厂商毛利率走势
第二节、中国MEMS产业发展分析
一、市场发展规模
二、市场产品结构
三、市场竞争格局
四、产业资源分布
五、产线区域分布
第三节、MEMS产业链分析
一、产业链条结构
二、产业价值链条
三、上游晶圆需求
四、下游应用格局
五、产业相关影响
第四节、MEMS产业主要经营模式分析
一、纯MEMS代工模式
二、IDM企业代工模式
三、传统MEMS代工模式
第五节、中国MEMS产业发展建议
一、产学研紧密结合
二、加强人才培养建设
三、优化产业发展环境
四、完善产业生态系统
第四章 2020-2022年射频MEMS产业发展综合分析
第一节、射频MEMS产业发展概况
一、产业基本概念
二、主要器件特点
三、基本器件类型
四、工艺发展状况
第二节、射频MEMS主要器件产业发展概述——滤波器
一、产品工作原理
二、产品类别对比
三、发展驱动因素
四、国产替代分析
第三节、射频MEMS主要器件市场分析——滤波器
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、国内市场格局
四、市场渗透率
五、企业投资动态
六、市场占比预测
第五章 2020-2022年其他MEMS主要产品发展综合分析
第一节、MEMS压力传感器发展状况
一、产业基本概念
二、产品基本分类
三、市场发展规模
四、市场竞争格局
五、企业研发状况
六、企业地域分布
第二节、MEMS麦克风发展状况
一、产品基本概述
二、市场发展规模
三、市场竞争格局
四、企业布局状况
五、产业发展趋势
第三节、MEMS惯性传感器发展分析
一、产品基本概述
二、市场发展规模
三、国内领先企业
四、应用领域状况
五、细分产品发展
第六章 2020-2022年MEMS下游应用领域发展综合分析
第一节、消费电子领域
一、应用领域概况
二、市场发展规模
三、产业需求推动
四、新兴市场刺激
五、应用潜力分析
第二节、汽车电子领域
一、汽车产销规模
二、产业基本分类
三、产业成本分析
四、市场渗透状况
五、市场应用状况
六、市场主要厂商
七、市场发展前景
第三节、物联网领域
一、产业政策支持
二、技术应用优势
三、产业价值分析
四、市场发展规模
五、市场发展前景
第四节、其他应用领域
一、医疗电子领域
二、工业应用领域
第七章 中国MEMS产业典型项目案例深度解析
第一节、MEMS压力传感器生产项目
一、项目基本概况
二、项目投资概算
三、项目经济效益
四、项目投资必要性
五、项目投资可行性
第二节、MEMS麦克风生产基地新建项目
一、项目基本概况
二、项目投资概算
三、项目经济效益
四、项目投资必要性
五、项目投资可行性
第三节、8英寸MEMS国际代工线建设项目
一、项目基本概况
二、项目实施主体
三、项目投资概算
四、项目经济效益
五、项目投资必要性
六、项目投资可行性
第四节、MEMS高频通信器件制造工艺开发项目
一、项目基本概况
二、项目实施主体
三、项目投资概算
四、项目投资必要性
五、项目投资可行性
第五节、MEMS红外热电堆传感器生产建设项目
一、项目基本概况
二、项目投资概算
三、项目投资必要性
四、项目投资可行性
第八章 2019-2022年国外MEMS产业重点企业发展分析
第一节、博通（AVGO）
一、企业发展概况
二、2020财年企业经营状况分析
三、2021财年企业经营状况分析
四、2022财年企业经营状况分析
第二节、意法半导体（ST）
一、企业发展概况
二、产品发展动态
三、2019财年企业经营状况分析
四、2020财年企业经营状况分析
五、2021财年企业经营状况分析
第三节、德州仪器（TI）
一、企业发展概况
二、2019年企业经营状况分析
三、2020年企业经营状况分析
四、2021年企业经营状况分析
第四节、科沃（Qorvo, Inc.）
一、企业发展概况
二、2019财年企业经营状况分析
三、2020财年企业经营状况分析
四、2021财年企业经营状况分析
第五节、楼氏电子（Knowles Corporation）
一、企业发展概况
二、2019年企业经营状况分析
三、2020年企业经营状况分析
四、2021年企业经营状况分析
第九章 2019-2021年中国MEMS产业重点企业经营状况分析
第一节、歌尔股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第二节、苏州固锝电子股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业合作动态
三、经营效益分析
四、业务经营分析
五、财务状况分析
六、核心竞争力分析
七、公司发展战略
八、未来前景展望
第三节、北京必创科技股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第四节、深圳市信维通信股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、未来前景展望
第五节、瑞声科技控股有限公司
一、企业发展概况
二、企业合作动态
三、2019年企业经营状况分析
四、2020年企业经营状况分析
五、2021年企业经营状况分析
第六节、苏州敏芯微电子技术股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业竞争优势
三、经营效益分析
四、业务经营分析
五、财务状况分析
六、核心竞争力分析
七、公司发展战略
八、未来前景展望
第十章 MEMS产业投资分析及风险提示
第一节、中国MEMS产业投融资状况
一、投融资事件情况
二、投融资金额状况
三、投融资轮次分布
四、投融资地区分布
第二节、MEMS产业投资壁垒分析
一、资金壁垒
二、技术壁垒
三、人才壁垒
第三节、MEMS产业投资风险提示
一、技术风险
二、毛利率下降风险
三、宏观环境变化风险
四、市场竞争加剧风险
五、产品质量控制风险
第十一章 2023-2028年中国MEMS产业发展机遇及前景预测分析
第一节、MEMS产业发展机遇
一、智能化时代发展机遇
二、颠覆性技术发展机遇
三、国家政策推动发展机遇
第二节、MEMS产业发展趋势分析
一、应用场景多元化
二、产品尺寸微型化
三、多传感器融合与协同
四、新敏感材料发展方向
第三节、2023-2028年中国MEMS产业预测分析
一、2023-2028年中国MEMS产业影响因素分析
二、2023-2028年全球MEMS市场规模预测
图表目录
图表1 平面IC电路
图表2 3D结构MEMS器件
图表3 MEMS工作原理示意图
图表4 MEMS器件分类
图表5 2017-2021年国内生产总值及其增长速度
图表6 2017-2021年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表7 2017-2021年全部工业增加值及其增长速度
图表8 2021年主要工业产品产量及其增长速度
图表9 2020年三次产业投资占固定资产投资比重（不含农户）
图表10 2020年分产业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表11 2020年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表12 2020年房地产开发和销售主要指标及其增长速度
图表13 2021年三次产业投资占固定资产投资比重（不含农户）
图表14 2021年分产业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表15 2021年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表16 2021年房地产开发和销售主要指标及其增长速度
图表17 MEMS产业相关政策汇总
图表18 2020年全国居民人均可支配收入平均数与中位数
图表19 2021年居民人均可支配收入平均数与中位数
图表20 2020年全国居民人均消费支出及构成
图表21 2021年居民人均消费支出及构成
图表22 2019-2020年社会消费品零售总额各月同比增速
图表23 2020年社会消费品零售总额主要数据
图表24 2020-2021年社会消费品零售总额月度同比增速
图表25 2020-2021年按消费类型分零售额同比增长速度
图表26 2021年社会消费品零售总额主要数据
图表27 2016-2020年全球MEMS市场规模
图表28 2019年全球MEMS市场结构（按器件类型）
图表29 2020、2026年全球MEMS市场结构及预测（按器件类型）
图表30 2019年全球MEMS主要企业营收Top10
图表31 2019年全球MEMS应用领域占比
图表32 2020、2026年全球MEMS应用领域占比及预测
图表33 2010-2019年全球部分主要MEMS厂商毛利率走势
图表34 2016-2020年中国MEMS市场规模及增速
图表35 2019年中国MEMS市场结构（按器件类型）
图表36 2019年中国MEMS市场厂商份额
图表37 2019年中国MEMS前十大厂商所在国家占比
图表38 中国MEMS产业资源分布
图表39 2019年中国MEMS产业区域分布
图表40 2019年中国MEMS产业规模省（区、市）分布
图表41 2019年中国MEMS产线区域分布
图表42 2019年中国MEMS产线类型占比
图表43 MEMS产业链示意图
图表44 MEMS制造产业的供应链及价值链环节
图表45 博世BMC050三轴加速度计成本分解
图表46 2019年中国MEMS晶圆需求类型
图表47 2019年中国MEMS产品晶圆需求结构
图表48 2019年中国MEMS应用市场占比
图表49 RF MEMS应用领域示意图
图表50 各类RF MEMS器件及其应用方向和优势特点
图表51 MEMS电容器件基本单元
图表52 MEMS电感器件基本单元
图表53 商业化RF MEMS开关产品对比
图表54 各类RF MEMS滤波器
图表55 国际先进水平RF MEMS微型同轴结构图示
图表56 RF MEMS体硅工艺
图表57 SAW滤波器工作原理示意图
图表58 BAW滤波器工作原理示意图
图表59 声波滤波器产品分类及对比
图表60 射频滤波器分类（按应用场景分类）
图表61 2G-5G手机频段数量、单机滤波器数量和价值量的变化
图表62 单部手机滤波器用量提升的三大原因
图表63 国产替代因素（一）
图表64 国产替代因素（二）
图表65 2015-2019年中国SAW滤波器消费量、产能与自给率
图表66 2015-2024年全球射频滤波器市场规模及预测（按销售额）
图表67 2015-2024年中国射频滤波器市场规模及预测（按销售额）
图表68 2020年全球SAW滤波器市场格局
图表69 2020年全球BAW滤波器市场格局
图表70 国产射频滤波器重点产商
图表71 2015-2020年各类型滤波器的市场渗透率及预测
图表72 2023年射频市场占比预测
图表73 MEMS压力传感器主要分类（根据作用原理划分）
图表74 2016-2020年中国MEMS压力传感器市场规模及增速
图表75 2020年MEMS压力传感器市场份额（按出货量）
图表76 2016-2020年中国MEMS压力传感器主要上市企业研发投入强度情况
图表77 2020年中国MEMS压力传感器主要上市企业研发项目情况
图表78 MEMS麦克风工作原理示意图
图表79 2016-2021年中国MEMS麦克风市场规模
图表80 2019年全球MEMS麦克风市场格局
图表81 2016-2020年中国MEMS惯性传感器市场规模及增速
图表82 中国MEMS惯性传感器产业领先企业（排名不分先后）
图表83 MEMS惯性传感器应用领域
图表84 MEMS陀螺仪分类
图表85 谐振环陀螺发展历程
图表86 MEMS加速度计的主要分类
图表87 MEMS磁传感器主要分类
图表88 2018-2024年全球消费电子MEMS市场规模及预测
图表89 2020-2021年全球智能手机出货量
图表90 2016-2021年中国智能手机出货量及增速
图表91 2019-2028年全球5G手机出货量及渗透率预测
图表92 2019-2028年中国5G手机出货量及渗透率预测
图表93 2017-2020年全球智能音箱销量
图表94 2016-2020年全球TWS耳机出货量及增速
图表95 2017-2021年中国汽车产量规模
图表96 2017-2021年中国汽车销量规模
图表97 汽车电子及其分类
图表98 各车型中汽车电子成本占比
图表99 1950-2030年汽车电子占整车制造成本的比重
图表100 2020年中国汽车电子相关设备和系统渗透率
图表101 2018-2024年全球汽车电子MEMS市场规模及预测
图表102 5G政策推动物联网发展路径更加清晰
图表103 MEMS在物联网中的场景
图表104 物联网四大层次价值量分布
图表105 物联网四大层次所涉及的领域
图表106 2019-2021年中国物联网市场规模
图表107 2020-2025年全球物联网设备连接数及预测
图表108 2018-2024年全球医疗电子MEMS市场规模及预测
图表109 MEMS在工业中的应用
图表110 2018-2024年全球工业MEMS市场规模及预测
图表111 MEMS压力传感器生产项目总投资
图表112 MEMS压力传感器生产项目的主要经济效益指标
图表113 MEMS麦克风生产基地新建项目总投资
图表114 MEMS麦克风生产基地新建项目的主要经济效益指标
图表115 8英寸MEMS国际代工线建设项目关键要素及内容
图表116 8英寸MEMS国际代工线建设项目总投资
图表117 MEMS高频通信器件制造工艺开发项目关键要素及内容
图表118 MEMS高频通信器件制造工艺开发项目总投资
图表119 MEMS红外热电堆传感器生产建设项目总投资
图表120 2019-2020财年博通有限公司综合收益表
图表121 2019-2020财年博通有限公司分部资料
图表122 2019-2020财年博通有限公司收入分地区资料
图表123 2020-2021财年博通有限公司综合收益表
图表124 2020-2021财年博通有限公司分部资料
图表125 2020-2021财年博通有限公司收入分地区资料
图表126 2021-2022财年博通有限公司综合收益表
图表127 2021-2022财年博通有限公司分部资料
图表128 2021-2022财年博通有限公司收入分地区资料
图表129 2018-2019财年意法半导体综合收益表
图表130 2018-2019财年意法半导体分部资料
图表131 2018-2019财年意法半导体收入分地区资料
图表132 2019-2020财年意法半导体综合收益表
图表133 2019-2020财年意法半导体分部资料
图表134 2019-2020财年意法半导体收入分地区资料
图表135 2020-2021财年意法半导体综合收益表
图表136 2020-2021财年意法半导体分部资料
图表137 2020-2021财年意法半导体收入分地区资料
图表138 2018-2019年德州仪器综合收益表
图表139 2018-2019年德州仪器分部资料
图表140 2018-2019年德州仪器收入分地区资料
图表141 2019-2020年德州仪器综合收益表
图表142 2019-2020年德州仪器分部资料
图表143 2019-2020年德州仪器收入分地区资料
图表144 2020-2021年德州仪器综合收益表
图表145 2020-2021年德州仪器分部资料
图表146 2020-2021年德州仪器收入分地区资料
图表147 2018-2019财年科沃综合收益表
图表148 2018-2019财年科沃分部资料
图表149 2018-2019财年科沃收入分地区资料
图表150 2019-2020财年科沃综合收益表
图表151 2019-2020财年科沃分部资料
图表152 2019-2020财年科沃收入分地区资料
图表153 2020-2021财年科沃综合收益表
图表154 2020-2021财年科沃分部资料
图表155 2020-2021财年科沃收入分地区资料
图表156 2018-2019年楼氏电子综合收益表
图表157 2018-2019年楼氏电子分部资料
图表158 2018-2019年楼氏电子收入分地区资料
图表159 2019-2020年楼氏电子综合收益表
图表160 2019-2020年楼氏电子分部资料
图表161 2019-2020年楼氏电子收入分地区资料
图表162 2020-2021年楼氏电子综合收益表
图表163 2020-2021年楼氏电子分部资料
图表164 2020-2021年楼氏电子收入分地区资料
图表165 2018-2021年歌尔股份有限公司总资产及净资产规模
图表166 2018-2021年歌尔股份有限公司营业收入及增速
图表167 2018-2021年歌尔股份有限公司净利润及增速
图表168 2019-2020年歌尔股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表169 2020-2021年歌尔股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表170 2018-2021年歌尔股份有限公司营业利润及营业利润率
图表171 2018-2021年歌尔股份有限公司净资产收益率
图表172 2018-2021年歌尔股份有限公司短期偿债能力指标
图表173 2018-2021年歌尔股份有限公司资产负债率水平
图表174 2018-2021年歌尔股份有限公司运营能力指标
图表175 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司总资产及净资产规模
图表176 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司营业收入及增速
图表177 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司净利润及增速
图表178 2019-2020年苏州固锝电子股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表179 2020-2021年苏州固锝电子股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表180 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司营业利润及营业利润率
图表181 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司净资产收益率
图表182 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司短期偿债能力指标
图表183 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司资产负债率水平
图表184 2018-2021年苏州固锝电子股份有限公司运营能力指标
图表185 2018-2021年北京必创科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表186 2018-2021年北京必创科技股份有限公司营业收入及增速
图表187 2018-2021年北京必创科技股份有限公司净利润及增速
图表188 2019-2020年北京必创科技股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表189 2021年北京必创科技股份有限公司主营业务分产品或服务
图表190 2018-2021年北京必创科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表191 2018-2021年北京必创科技股份有限公司净资产收益率
图表192 2018-2021年北京必创科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表193 2018-2021年北京必创科技股份有限公司资产负债率水平
图表194 2018-2021年北京必创科技股份有限公司运营能力指标
图表195 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司总资产及净资产规模
图表196 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司营业收入及增速
图表197 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司净利润及增速
图表198 2019-2020年深圳市信维通信股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表199 2021年深圳市信维通信股份有限公司主营业务分产品或服务、地区
图表200 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司营业利润及营业利润率
图表201 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司净资产收益率
图表202 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司短期偿债能力指标
图表203 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司资产负债率水平
图表204 2018-2021年深圳市信维通信股份有限公司运营能力指标
图表205 2018-2019年瑞声科技综合收益表
图表206 2018-2019年瑞声科技分部资料
图表207 2018-2019年瑞声科技收入分地区资料
图表208 2019-2020年瑞声科技综合收益表
图表209 2019-2020年瑞声科技分部资料
图表210 2019-2020年瑞声科技收入分地区资料
图表211 2020-2021年瑞声科技综合收益表
图表212 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司总资产及净资产规模
图表213 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司营业收入及增速
图表214 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司净利润及增速
图表215 2020年苏州敏芯微电子技术股份有限公司主营业务分产业、产品、地区
图表216 2020-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司营业收入情况
图表217 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司营业利润及营业利润率
图表218 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司净资产收益率
图表219 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司短期偿债能力指标
图表220 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司资产负债率水平
图表221 2018-2021年苏州敏芯微电子技术股份有限公司运营能力指标
图表222 2017-2020年中国MEMS产业投融资事件数量
图表223 2020年中国MEMS各领域投资事件占比
图表224 2017-2021年中国MEMS产业投资金额
图表225 2020年中国MEMS各领域投资金额占比
图表226 2017-2019中国MEMS产业投融资轮次情况
图表227 2020年中国MEMS投融资轮次情况
图表228 2017-2019中国MEMS投融资地区分布情况
图表229 2020年中国MEMS投资融资地区分布情况
图表230 2023-2028年全球MEMS市场规模预测
