内容概况
半导体设备指生产半导体相关产品的专用设备。以中国电子专用设备工业协会的分类口径，半导体设备主要包括集成电路设备、光伏设备、LED设备。其中，集成电路设备附加值最高，包括前端集成电路制造设备与后端集成电路封测设备，最终品为应用于电子、通信等各产业领域的芯片。
半导体制造产业是技术密集型和资本密集型产业，因其技术门槛高、制造难度大、设备价值高，市场呈现先发优势明显、下游客户粘性强、市场集中度高等特点。
2019年全球半导体设备销售额为597.5亿美元，较2018年下降了7.41%。而2020年全球半导体制造设备销售额为711亿美元，同比增长19%。
2019年，中国半导体设备销售额为134.5亿美元，同比增长2.59%，市场规模继续位居全球次席。2020年，中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场，销售额达187.2亿美元，同比大增39%。SEMI数据显示，中国半导体投资设备从2018年的130亿美元增至2020年的180亿美元，并于2020年首次占据年度全球半导体设备投资规模首位，预计2021年投资将超200亿美元。
从长期来看，随着下游应用多点开花，半导体设备产业发展有望增添新动力。其中，以工业互联网、物联网、人工智能、汽车电子、5G为主体的半导体新兴应用预计将形成良好的需求共振，全球半导体产业发展将步入机遇期。
2020年8月4日，国务院发布《关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》，给集成电路产业提供了全面的政策支持，5000多字的文件涵盖了财税、投融资、研发、进出口、人才、知识产权等8个方面，总计出台了40条支持政策。此项政策的推出，无疑为我国集成电路产业的发展提供了巨大的政策支持，进一步推动半导体产业的发展。2020年12月11日，为支持集成电路设计和软件产业发展，财政部、税务总局、发展改革委发布《关于促进集成电路产业和软件产业高质量发展企业所得税政策的公告》。国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业，自获利年度起，第一年至第五年免征企业所得税，接续年度减按10%的税率征收企业所得税。2021年3月29日，财政部、海关总署、税务总局发布《关于支持集成电路产业和软件产业发展进口税收政策的通知》，明确了对五类情形免征进口关税，于2020年7月27日至2030年12月31日实施，意味着《通知》涉及到的商品将享受免征进口关税10年的利好。2021年4月22日，工信部、国家发改委、财政部和国家税务局发布公告，明确了《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》（国发〔2020〕8号）第二条中所称国家鼓励的集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业条件。公告自2020年1月1日起实施。自获利年度起，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。
产业研究院发布的《2023-2028年中国半导体设备产业全景调查及投资咨询报告》共十四章。首先介绍了半导体设备产业基本概述，接着分析了中国半导体设备产业发展环境及半导体产业产业链的发展状况。然后对半导体设备产业进行了全面分析。接着，报告具体介绍了半导体光刻、刻蚀、清洗及测试设备的市场状况。然后报告分析了国内外重点半导体设备企业经营状况。最后，报告对半导体设备产业进行了投资分析并对产业未来发展前景进行了科学的预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、商务部、工信部、中国海关总署、产业研究院、产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对产业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对半导体设备产业有个系统深入的了解、或者想投资半导体设备产业，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 半导体设备产业基本概述
第一节、半导体的定义和分类
一、半导体的定义
二、半导体的分类
三、半导体的应用
第二节、半导体设备产业概述
一、产业概念界定
二、产业主要分类
第二章 2020-2022年中国半导体设备产业发展环境PEST分析
第一节、政策环境（Political）
一、半导体设备政策汇总
二、半导体制造利好政策
三、集成电路企业税收优惠
四、集成电路产业政策扶持
五、产业投资基金的支持
第二节、经济环境（Economic）
一、宏观经济发展概况
二、工业经济运行情况
三、固定资产投资状况
四、未来经济发展展望
第三节、社会环境（social）
一、电子信息产业增速
二、电子信息设备规模
三、研发经费投入增长
四、科技人才队伍壮大
第四节、技术环境（Technological）
一、企业研发投入
二、技术迭代历程
三、企业专利状况
第三章 2020-2022年半导体产业链发展状况
第一节、半导体产业链分析
一、半导体产业链结构
二、半导体产业链流程
三、半导体产业链转移
第二节、2020-2022年全球半导体市场总体分析
一、市场销售规模
二、产业产品结构
三、区域市场格局
四、产业研发投入
五、市场竞争状况
六、企业支出状况
七、产业发展前景
第三节、2020-2022年中国半导体市场运行状况
一、产业发展历程
二、产业销售规模
三、市场规模现状
四、产业区域分布
五、市场机会分析
第四节、2020-2022中国IC设计产业发展分析
一、产业发展历程
二、市场发展规模
三、企业发展状况
四、产业地域分布
五、专利申请情况
六、资本市场表现
七、产业面临挑战
第五节、2020-2022年中国IC制造产业发展分析
一、制造工艺分析
二、晶圆加工技术
三、市场发展规模
四、企业排名状况
五、产业发展措施
第六节、2020-2022年中国IC封装测试产业发展分析
一、封装基本介绍
二、封装技术趋势
三、芯片测试原理
四、市场发展规模
五、芯片测试分类
六、企业排名状况
七、技术发展趋势
第四章 2020-2022年半导体设备产业发展综合分析
第一节、2020-2022年全球半导体设备市场发展形势
一、市场销售规模
二、市场结构分析
三、市场区域分布
四、市场竞争格局
五、重点厂商介绍
第二节、2020-2022年中国半导体设备市场发展现状
一、市场销售规模
二、市场需求分析
三、企业竞争态势
四、企业产品布局
五、市场国产化率
六、产业发展成就
第三节、半导体产业核心设备——晶圆制造设备市场运行分析
一、设备基本概述
二、市场发展规模
三、核心环节分析
四、区域竞争格局
五、主要厂商介绍
第四节、半导体产业核心设备——晶圆加工设备市场运行分析
一、设备基本概述
二、市场发展规模
三、市场价值构成
四、市场结构分析
第五节、半导体设备产业上市公司运行状况分析
一、半导体设备产业上市公司规模
二、半导体设备产业上市公司分布
第六节、半导体设备产业财务状况分析
一、经营状况分析
二、盈利能力分析
三、营运能力分析
四、成长能力分析
五、现金流量分析
第五章 2020-2022年半导体光刻设备市场发展分析
第一节、半导体光刻环节基本概述
一、光刻工艺重要性
二、光刻工艺的原理
三、光刻工艺的流程
第二节、半导体光刻技术发展分析
一、光刻技术原理
二、光刻技术历程
三、光学光刻技术
四、EUV光刻技术
五、X射线光刻技术
六、纳米压印光刻技术
第三节、2020-2022年光刻机市场发展综述
一、光刻机工作原理
二、光刻机发展历程
三、光刻机产业链条
四、光刻机市场规模
五、光刻机竞争格局
六、光刻机技术差距
第四节、光刻设备核心产品——EUV光刻机市场状况
一、EUV光刻机基本介绍
二、典型企业经营状况
三、EUV光刻机需求企业
四、EUV光刻机研发分析
第六章 2020-2022年半导体刻蚀设备市场发展分析
第一节、半导体刻蚀环节基本概述
一、刻蚀工艺介绍
二、刻蚀工艺分类
三、刻蚀工艺参数
第二节、干法刻蚀工艺发展优势分析
一、干法刻蚀优点分析
二、干法刻蚀应用分类
三、干法刻蚀技术演进
第三节、2020-2022年全球半导体刻蚀设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、设备研发支出
第四节、2020-2022年中国半导体刻蚀设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、企业发展现状
三、市场需求状况
四、市场发展机遇
第七章 2020-2022年半导体清洗设备市场发展分析
第一节、半导体清洗环节基本概述
一、清洗环节的重要性
二、清洗工艺类型比较
三、清洗设备技术原理
四、清洗设备主要类型
五、清洗设备主要部件
第二节、2020-2022年半导体清洗设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、市场发展机遇
四、市场发展趋势
第三节、半导体清洗机领先企业布局状况
一、迪恩士公司
二、盛美半导体
三、至纯科技公司
四、国产化布局
第八章 2020-2022年半导体测试设备市场发展分析
第一节、半导体测试环节基本概述
一、测试流程介绍
二、前道工艺检测
三、中后道的测试
第二节、2020-2022年半导体测试设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、细分市场结构
四、设备制造厂商
五、主要产品介绍
第三节、半导体测试设备重点企业发展启示
一、泰瑞达
二、爱德万
第四节、半导体测试核心设备发展分析
一、测试机
二、分选机
三、探针台
第九章 2020-2022年半导体产业其他设备市场发展分析
第一节、单晶炉设备
一、设备基本概述
二、设备数量规模
三、企业竞争格局
四、市场空间测算
第二节、氧化/扩散设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、企业竞争格局
四、核心产品介绍
第三节、薄膜沉积设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、企业竞争格局
四、市场前景展望
第四节、化学机械抛光设备
一、设备基本概述
二、市场发展规模
三、市场竞争格局
四、主要企业分析
第十章 2020-2022年国外半导体设备重点企业经营状况
第一节、应用材料（Applied Materials, Inc.）
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营情况
四、企业核心产品
五、企业业务布局
六、企业发展前景
第二节、泛林集团（Lam Research Corp.）
一、企业发展概况
二、企业经营情况
三、企业核心产品
四、企业发展前景
第三节、阿斯麦（ASML Holding NV）
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营情况
四、企业核心产品
五、企业发展前景
第四节、东京电子（Tokyo Electron, TEL）
一、企业发展概况
二、企业经营情况
三、企业核心产品
四、企业发展前景
第十一章 2019-2022年国内半导体设备重点企业经营状况分析
第一节、浙江晶盛机电股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第二节、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、风险因素分析
第三节、中微半导体设备（上海）股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第四节、北方华创科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、未来前景展望
第五节、沈阳芯源微电子设备股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第六节、北京华峰测控技术股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第七节、中电科电子
一、企业发展概况
二、企业核心产品
三、企业参与项目
四、产品研发动态
五、企业发展前景
第八节、上海微电子
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业参与项目
四、企业创新能力
五、企业发展地位
第十二章 半导体设备产业投资价值分析
第一节、半导体设备企业并购市场发展状况
一、企业并购历史回顾
二、产业并购特征分析
三、企业并购动机归因
四、产业企业并购动态
第二节、中国半导体设备市场投资机遇分析
一、整体投资机遇分析
二、晶圆厂投资需求
三、产业政策扶持发展
第三节、半导体设备产业投资机会点分析
一、薄膜工艺设备
二、刻蚀工艺设备
三、光刻工艺设备
四、清洗工艺设备
第四节、半导体设备产业投资壁垒分析
一、技术壁垒分析
二、客户验证壁垒
三、竞争壁垒分析
四、资金壁垒分析
第五节、半导体设备产业投资风险分析
一、经营风险分析
二、产业风险分析
三、宏观环境风险
四、知识产权风险
五、人才资源风险
六、技术研发风险
第六节、半导体设备投资价值评估及建议
一、投资价值综合评估
二、产业投资特点分析
三、产业投资策略建议
第十三章 中国产业标杆企业项目投资建设案例深度解析
第一节、半导体湿法设备制造项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、建设内容规划
四、经济效益分析
第二节、半导体产业超高洁净管阀件生产线技改项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、实施进度安排
四、经济效益分析
第三节、光刻机产业化项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、建设内容规划
四、经济效益分析
第四节、半导体设备产业化基地建设项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、项目进度安排
四、项目投资价值
第十四章 2023-2028年中国半导体设备产业发展趋势及预测分析
第一节、中国半导体产业未来发展趋势
一、技术发展利好
二、自主创新发展
三、产业地位提升
四、市场应用前景
第二节、中国半导体设备产业发展前景展望
一、政策支持发展
二、产业发展机遇
三、市场应用需求
四、产业发展前景
第三节、2023-2028年中国半导体设备产业预测分析
一、2023-2028年中国半导体设备产业影响因素分析
图表目录
图表1 半导体分类结构图
图表2 半导体分类
图表3 半导体分类及应用
图表4 半导体设备构成
图表5 IC芯片制造核心工艺主要设备全景图
图表6 中国半导体设备产业相关政策汇总
图表7 《中国制造2025》半导体产业政策目标与政策支持
图表8 2015-2030年IC产业政策目标与发展重点
图表9 集成电路企业税收优惠适用类型
图表10 一期大基金投资各领域份额占比
图表11 国家集成电路产业基金二期出资方（一）
图表12 国家集成电路产业基金二期出资方（二）
图表13 国家集成电路产业投资基金二期投资方向
图表14 2019年GDP最终核实数与初步核算数对比
图表15 2016-2020年国内生产总值及其增长速度
图表16 2016-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表17 2016-2020年全部工业增加值及其增长速度
图表18 2020年主要工业产品产量及其增长速度
图表19 2020-2021年规模以上工业增加值同比增长速度
图表20 2019年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表21 2019年分产业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表22 2019年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表23 2019年房地产开发和销售主要指标及其增长速度
图表24 2020年三次产业投资占固定资产投资比重（不含农户）
图表25 2020年分产业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表26 2020年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表27 2020年房地产开发和销售主要指标及其增长速度
图表28 2018-2019年电子信息制造业增加值和出口交货值分月增速
图表29 2018-2019年电子信息制造业营业收入、利润增速变动情况
图表30 2018-2019年电子信息制造业PPI分月增速
图表31 2018-2019年电子信息制造固定资产投资增速变动情况
图表32 2019-2020年电子信息制造业增加值和出口交货值分月增速
图表33 2019-2020年电子信息制造业营业收入、利润增速变动情况
图表34 2019-2020年电子信息制造业PPI分月增速
图表35 2019-2020年电子信息制造固定资产投资增速变动情况
图表36 2018-2019年通信设备产业增加值和出口交货值分月增速
图表37 2018-2019年电子元件产业增加值和出口交货值分月增速
图表38 2018-2019年电子器件产业增加值和出口交货值分月增速
图表39 2018-2019年计算机制造业增加值和出口交货值分月增速
图表40 2019-2020年通信设备产业出口交货值分月增速
图表41 2019-2020年电子元件产业出口交货值分月增速
图表42 2019-2020年电子器件产业出口交货值分月增速
图表43 2019-2020年计算机制造业出口交货值分月增速
图表44 2019年财政科学技术支出情况
图表45 2019年分产业规模以上工业企业研究与试验发展（R&D）经费情况
图表46 2019年各地区研究与试验发展（R&D）经费情况
图表47 中国半导体企业专利百强榜top10名单
图表48 半导体产业链示意图
图表49 半导体上下游产业链
图表50 半导体产业转移和产业分工
图表51 集成电路产业转移状况
图表52 全球主要半导体厂商
图表53 1999-2021年全球半导体市场规模及增长情况
图表54 2020年全球半导体销售额区域分布结构
图表55 2000-2025年全球半导体研发支出规模及预测
图表56 2020年全球半导体厂商销售额Top10
图表57 2020年全球半导体企业市场份额
图表58 2018-2019年全球半导体支出排名
图表59 2019-2020年全球半导体支出排名Top10
图表60 国内半导体发展阶段
图表61 国家集成电路产业发展推进纲要
图表62 2021年我国集成电路分领域销售额
图表63 2021年中国集成电路产量地区分布情况（按季度分）
图表64 2021年中国集成电路区域占比情况（按产量分）
图表65 IC设计的不同阶段
图表66 2015-2020年中国IC设计产业销售额及增长率
图表67 2012-2020年中国IC设计公司数量
图表68 2020年中国IC设计企业榜单
图表69 2019年全国主要城市IC设计业规模
图表70 2020年中国集成电路设计业销售额区域分布状况
图表71 2020年全国主要城市IC设计业规模
图表72 2015-2020年集成电路布图设计专利申请及发证数量
图表73 从二氧化硅到“金属硅”
图表74 从“金属硅”到多晶硅
图表75 从晶柱到晶圆
图表76 2015-2020年中国IC制造业销售规模
图表77 中国芯片制造企业TOP10名单
图表78 现代电子封装包含的四个层次
图表79 根据封装材料分类
图表80 目前主流市场的两种封装形式
图表81 封装技术微型化发展
图表82 SOC与SIP区别
图表83 封测技术发展重构了封测厂的角色
图表84 2017-2022年先进封装市场规模预测
图表85 2015-2022年FOWLP市场空间
图表86 2015-2020中国IC封装测试业销售额
图表87 中国芯片封装测试企业TOP20名单
图表88 中国芯片封装测试企业TOP20名单（续表）
图表89 2015-2020年全球半导体设备销售情况
图表90 半导体设备占比情况
图表91 2020年全球半导体设备销售市场份额占比情况
图表92 2020年全球半导体设备十强企业分析
图表93 2013-2020年中国大陆半导体设备销售额及增速
图表94 2007-2022年晶圆制造每万片/月产能的投资量级
图表95 晶圆制造各环节设备投资占比
图表96 我国主要半导体设备企业情况分析
图表97 中国半导体设备代表企业的产品布局（一）
图表98 中国半导体设备代表企业的产品布局（二）
图表99 2016-2020年中国半导体设备国产化情况分析
图表100 开始步入生产线验证的应用于14nm的国产设备
图表101 2019-2020年中国半导体晶圆制造设备销售市场规模
图表102 光刻、刻蚀、成膜成本占比最高
图表103 2020年全球晶圆产能区域分布情况
图表104 硅片制造设备厂商
图表105 各种类型的CVD反应器及其主要特点
图表106 2018-2024年全球半导体晶圆加工设备市场规模及预测
图表107 2018-2024年晶圆加工设备中先进制程占比分析
图表108 2018-2024年300mm（12英寸）晶圆设备占情况
图表109 2020年晶圆加工设备市场结构
图表110 半导体设备产业上市公司名单
图表111 2016-2020年半导体设备产业上市公司资产规模及结构
图表112 半导体设备产业上市公司上市板分布情况
图表113 半导体设备产业上市公司地域分布情况
图表114 2016-2020年半导体设备产业上市公司营业收入及增长率
图表115 2016-2020年半导体设备产业上市公司净利润及增长率
图表116 2016-2020年半导体设备产业上市公司毛利率与净利率
图表117 2016-2020年半导体设备产业上市公司营运能力指标
图表118 2020-2021年半导体设备产业上市公司营运能力指标
图表119 2016-2020年半导体设备产业上市公司成长能力指标
图表120 2020-2021年半导体设备产业上市公司成长能力指标
图表121 2016-2020年半导体设备产业上市公司销售商品收到的现金占比
图表122 在硅片表面构建半导体器件的过程
图表123 正性光刻与负性光刻对比
图表124 旋转涂胶步骤
图表125 涂胶设备构成
图表126 光刻原理图
图表127 显影过程示意图
图表128 干法（物理）、湿法（化学）刻蚀原理示意图
图表129 半导体光刻技术原理
图表130 光刻技术曝光光源发展历程
图表131 光刻机工作原理图
图表132 晶体管内部结构图
图表133 光刻机产品发展历程
图表134 步进式投影示意图
图表135 浸没式光刻机原理
图表136 光刻机产业链及关键企业
图表137 2016-2020年光刻机全球年度销量及增速
图表138 2015-2020年光刻机全球单季度销量及增速
图表139 2020年全球光刻机市场竞争格局（按销售数量）
图表140 2020年全球光刻机市场竞争格局（按销售金额）
图表141 2015-2020年ArF immersion光刻机竞争格局
图表142 2015-2020年ArF dry光刻机竞争格局
图表143 2015-2020年KrF光刻机竞争格局
图表144 2015-2020年i-line光刻机竞争格局
图表145 中国光刻机相关领先企业技术进展情况
图表146 刻蚀工艺原理
图表147 刻蚀分类示意图
图表148 主要刻蚀参数
图表149 干法刻蚀优点分析
图表150 干法刻蚀的应用
图表151 传统反应离子刻蚀机示意图
图表152 电子回旋加速振荡刻蚀机（ECR）示意图
图表153 电容、电感耦合等离子体刻蚀机（CCP、ICP）示意图
图表154 双等离子体源刻蚀机示意图
图表155 原子层刻蚀（ALE）工艺示意图
图表156 2019-2025年全球刻蚀设备市场规模及占比情况
图表157 2019-2020年全球半导体设备公司刻蚀业务收入情况
图表158 2015-2020年干法刻蚀企业市场份额
图表159 2015-2020年半导体刻蚀市场结构分析
图表160 2015-2020年Dielectric Etch市场份额
图表161 2019-2021年中国刻蚀设备市场规模及预测
图表162 国内刻蚀设备相关领先企业技术情况
图表163 2020年长江存储刻蚀设备中标公司占比
图表164 晶圆制造工艺中清洗步骤和目的
图表165 各类常见的半导体清洗工艺对比
图表166 石英加热槽结构
图表167 兆声清洗槽结构
图表168 2018-2024年全球清洗设备市场规模及预测
图表169 清洗步骤约占整体步骤比重
图表170 制程结构升级下清洗设备市场未来趋势
图表171 半导体测试流程及设备示意图
图表172 晶圆制造的前道工艺检测环节设备一览
图表173 IC产品的不同电学测试
图表174 集成电路的生产流程及性能测试环节示意图
图表175 2018-2020年中国半导体测试设备市场规模
图表176 国内外电学检测设备主要竞争者
图表177 中国测试设备产品结构
图表178 中国测试设备细分市场规模
图表179 半导体测试设备市场及生产厂商情况
图表180 各主流测试设备公司产品情况一览
图表181 泰瑞达部分产品介绍
图表182 泰瑞达并购历史
图表183 2019-2020财年泰瑞达公司综合收益表
图表184 2019-2020财年泰瑞达公司分部资料
图表185 2019-2020财年泰瑞达公司收入分地区资料
图表186 2020-2021财年泰瑞达公司综合收益表
图表187 2020-2021财年泰瑞达公司分部资料
图表188 2020-2021财年泰瑞达公司收入分地区资料
图表189 爱德万部分产品介绍
图表190 2000-2020年爱德万参股、并购事件
图表191 2019-2020财年爱德万测试综合收益表
图表192 2019-2020财年爱德万测试分部资料
图表193 2019-2020财年爱德万测试收入分地区资料
图表194 2020-2021财年爱德万测试综合收益表
图表195 2020-2021财年爱德万测试分部资料
图表196 重力式、转塔式、平移式分选机性能比较
图表197 分选机技术难点
图表198 国内外先进厂商分选机性能比较
图表199 探针台主要结构示意图
图表200 探针台技术难点
图表201 国内外先进厂商探针台对比
图表202 2020年中国单晶硅片生长炉数量统计（一）
图表203 2020年中国单晶硅片生长炉数量统计（二）
图表204 2020年中国单晶硅片生长炉数量统计（三）
图表205 2020年中国单晶硅片生长炉数量统计（四）
图表206 单晶炉设备国内竞争厂商概况
图表207 国外晶体生长炉设备供应厂商概况
图表208 2019-2021年主流硅片厂扩产计划
图表209 2019-2021年单晶炉市场规模测算
图表210 2018-2024年全球氧化/扩散炉市场规模及占比情况
图表211 北方华创、Mattson氧化/退火设备中标情况
图表212 2020年已中标企业氧化扩散设备占比
图表213 氧化/扩散炉市场竞争格局
图表214 北方华创氧化/扩散设备
图表215 主要半导体薄膜沉积工艺比较
图表216 薄膜生长设备
图表217 2018-2024年全球CVD设备市场规模变化
图表218 2018-2024年全球PVD设备市场规模变化
图表219 中国薄膜沉积设备相关领先企业技术进展
图表220 化学机械抛光（CMP）工作原理
图表221 2018-2024年全球CMP设备市场规模变化情况
图表222 中国CMP设备生产主要企业概况
图表223 2018-2019财年应用材料公司综合收益表
图表224 2018-2019财年应用材料公司分部资料
图表225 2018-2019财年应用材料公司收入分地区资料
图表226 2019-2020财年应用材料公司综合收益表
图表227 2019-2020财年应用材料公司分部资料
图表228 2019-2020财年应用材料公司收入分地区资料
图表229 2020-2021财年应用材料公司综合收益表
图表230 2020-2021财年应用材料公司分部资料
图表231 2020-2021财年应用材料公司收入分地区资料
图表232 应用材料主要半导体设备产品
图表233 2019年应用材料各地区营收占比
图表234 2019年应用材料各业务营收占比
图表235 2018-2019财年林氏研究公司综合收益表
图表236 2018-2019财年林氏研究公司收入分地区资料
图表237 2019-2020财年林氏研究公司综合收益表
图表238 2019-2020财年林氏研究公司收入分地区资料
图表239 2020-2021财年林氏研究公司综合收益表
图表240 2020-2021财年林氏研究公司收入分地区资料
图表241 阿斯麦发展里程碑事件
图表242 阿斯麦产品研发历程
图表243 2018-2019财年阿斯麦公司综合收益表
图表244 2018-2019财年阿斯麦公司收入分地区资料
图表245 2019-2020财年阿斯麦公司综合收益表
图表246 2019-2020财年阿斯麦公司收入分地区资料
图表247 2020-2021财年阿斯麦公司综合收益表
图表248 2020-2021财年阿斯麦公司收入分地区资料
图表249 阿斯麦产品体系
图表250 阿斯麦EUV光刻机简介
图表251 阿斯麦浸入式DUV光刻机简介
图表252 阿斯麦干式DUV光刻机简介
图表253 阿斯麦HMI电子束计量检测系统简介
图表254 2018-2019财年东京威力科创综合收益表
图表255 2018-2019财年东京威力科创分部资料
图表256 2018-2019财年东京威力科创收入分地区资料
图表257 2019-2020财年东京威力科创综合收益表
图表258 2019-2020财年东京威力科创分部资料
图表259 2019-2020财年东京威力科创收入分地区资料
图表260 2020-2021财年东京威力科创综合收益表
图表261 2020-2021财年东京威力科创分部资料
图表262 2020-2021财年东京威力科创收入分地区资料
图表263 东京电子公司产品示意图
图表264 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司总资产及净资产规模
图表265 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司营业收入及增速
图表266 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司净利润及增速
图表267 2019-2020年浙江晶盛机电股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表268 2021年浙江晶盛机电股份有限公司主营业务分产品或服务
图表269 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司营业利润及营业利润率
图表270 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司净资产收益率
图表271 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司短期偿债能力指标
图表272 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司资产负债率水平
图表273 2018-2021年浙江晶盛机电股份有限公司运营能力指标
图表274 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司总资产及净资产规模
图表275 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业收入及增速
图表276 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司净利润及增速
图表277 2019-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表278 2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司主营业务分产品或服务
图表279 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业利润及营业利润率
图表280 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司净资产收益率
图表281 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司短期偿债能力指标
图表282 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司资产负债率水平
图表283 2018-2021年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司运营能力指标
图表284 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司总资产及净资产规模
图表285 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入及增速
图表286 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司净利润及增速
图表287 2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司主营业务分产业、产品、地区
图表288 2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司主营业务分产品
图表289 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业利润及营业利润率
图表290 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司净资产收益率
图表291 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司短期偿债能力指标
图表292 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司资产负债率水平
图表293 2018-2021年中微半导体设备（上海）股份有限公司运营能力指标
图表294 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表295 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表296 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司净利润及增速
图表297 2019-2020年北方华创科技集团股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表298 2020-2021年北方华创科技集团股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表299 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表300 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司净资产收益率
图表301 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表302 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表303 2018-2021年北方华创科技集团股份有限公司运营能力指标
图表304 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司总资产及净资产规模
图表305 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司营业收入及增速
图表306 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司净利润及增速
图表307 2020年沈阳芯源微电子设备股份有限公司主营业务分产业、产品、地区
图表308 2020-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司营业收入情况
图表309 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司营业利润及营业利润率
图表310 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司净资产收益率
图表311 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司短期偿债能力指标
图表312 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司资产负债率水平
图表313 2018-2021年沈阳芯源微电子设备股份有限公司运营能力指标
图表314 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司总资产及净资产规模
图表315 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司营业收入及增速
图表316 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司净利润及增速
图表317 2020年北京华峰测控技术股份有限公司主营业务分产业、产品、地区
图表318 2020-2021年北京华峰测控技术股份有限公司营业收入情况
图表319 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司营业利润及营业利润率
图表320 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司净资产收益率
图表321 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司短期偿债能力指标
图表322 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司资产负债率水平
图表323 2018-2021年北京华峰测控技术股份有限公司运营能力指标
图表324 半导体设备企业并购被并购方地域分布
图表325 半导体设备公司并购的数量和金额特征
图表326 国内主要半导体设备企业
图表327 2020年国内主要半导体设备上市公司营收和毛利率对比
图表328 半导体湿法设备制造项目募集资金总额
图表329 半导体产业超高洁净管阀件生产线技改项目计划用资金情况
图表330 光刻机产业化项目资金需求及应用方向
图表331 中微产业化基地建设项目投资资金明细
