内容概况
半导体设备指生产半导体相关产品的专用设备。以中国电子专用设备工业协会的分类口径，半导体设备主要包括集成电路设备、光伏设备、LED设备。其中，集成电路设备附加值最高，包括前端集成电路制造设备与后端集成电路封测设备，最终品为应用于电子、通信等各行业领域的芯片。
半导体制造行业是技术密集型和资本密集型产业，因其技术门槛高、制造难度大、设备价值高，市场呈现先发优势明显、下游客户粘性强、市场集中度高等特点。
全球半导体市场规模持续扩大，国内占比逐渐提升。根据SEMI数据，2018年，全球半导体销售额4688亿美元，同比增长13.72%，10年复合增速8.43%；2018年我国半导体销售额1579亿美元，同比增长20.08%，10年复合增速14.55%，中国半导体销售额全球占比从2014年的27.30%上升到2018年的33.68%，全球占比持续提升。随着5G、人工智能、汽车电子、云计算、大数据、物联网、医疗和安防电子、可穿戴设备等新兴应用的带动，国内半导体市场规模有望持续扩大。
2019年5月21日，为支持集成电路设计和软件产业发展，财政部发布集成电路设计和软件产业企业所得税政策的公告，在2018年12月31日前自获利年度起计算优惠期，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税，并享受至期满为止。此项减税政策的推出，无疑为我国集成电路产业的发展提供了巨大的政策支持，进一步推动半导体产业的发展。
2014年9月24日，国家集成电路产业投资基金（大基金）正式成立，存续期为10年，大基金分为两期进行。截至2018年底，大基金资产总计为1159.36亿元，负债总计为4793.87万元，净资产为1158.88亿元；国家集成电路产业投资基金二期于2019年10月22日成立，注册资本为2041.5亿元，是一期注册资本的两倍。国家将对半导体行业继续投入真金白银的扶持，未来我国半导体设备行业的发展前景看好。
锐观产业研究院发布的《2021-2025年中国半导体设备行业深度调研及投资前景预测报告》共十四章。首先介绍了半导体设备行业基本概述，接着分析了中国半导体设备行业发展环境及半导体行业产业链的发展状况。然后对半导体设备行业进行了全面分析。接着，报告具体介绍了半导体光刻、刻蚀、清洗及测试设备的市场状况。然后报告分析了国内外重点半导体设备企业经营状况。最后，报告对半导体设备行业进行了投资分析并对行业未来发展前景进行了科学的预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、商务部、工信部、中国海关总署、锐观产业研究院、锐观产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对行业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对半导体设备行业有个系统深入的了解、或者想投资半导体设备行业，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 半导体设备行业基本概述
第一节、半导体的定义和分类
一、半导体的定义
二、半导体的分类
三、半导体的应用
第二节、半导体设备行业概述
一、行业概念界定
二、行业主要分类
第二章 2018-2020年中国半导体设备行业发展环境PEST分析
第一节、政策环境（Political）
一、半导体产业政策汇总
二、半导体制造利好政策
三、工业半导体政策动态
四、产业投资基金的支持
第二节、经济环境（Economic）
一、宏观经济发展概况
二、工业经济运行情况
三、经济转型升级发展
四、未来经济发展展望
第三节、社会环境
一、电子信息产业增速
二、电子信息设备规模
三、研发经费投入增长
四、科技人才队伍壮大
第四节、技术环境（Technological）
一、企业研发投入
二、技术迭代历程
三、企业专利状况
第三章 2018-2020年半导体产业链发展状况
第一节、半导体产业链分析
一、半导体产业链结构
二、半导体产业链流程
三、半导体产业链转移
第二节、2018-2020年全球半导体市场总体分析
一、市场销售规模
二、行业产品结构
三、区域市场格局
四、产业研发投入
五、市场竞争状况
六、企业支出状况
七、产业影响因素
八、产业发展前景
第三节、2018-2020年中国半导体市场运行状况
一、产业发展历程
二、产业销售规模
三、市场规模现状
四、产业区域分布
五、市场机会分析
六、疫情影响分析
第四节、2018-2020年中国IC设计行业发展分析
一、行业发展历程
二、市场发展规模
三、企业发展状况
四、产业地域分布
五、专利申请情况
六、资本市场表现
七、行业面临挑战
第五节、2018-2020年中国IC制造行业发展分析
一、制造工艺分析
二、晶圆加工技术
三、市场发展规模
四、企业排名状况
五、行业发展措施
第六节、2018-2020年中国IC封装测试行业发展分析
一、封装基本介绍
二、封装技术趋势
三、芯片测试原理
四、市场发展规模
五、芯片测试分类
六、企业排名状况
七、技术发展趋势
第四章 2018-2020年半导体设备行业发展综合分析
第一节、2018-2020年全球半导体设备市场发展形势
一、市场销售规模
二、市场结构分析
三、市场区域格局
四、重点厂商介绍
五、厂商竞争格局
六、市场发展预测
第二节、2018-2020年中国半导体设备市场发展现状
一、市场销售规模
二、市场需求分析
三、企业竞争态势
四、企业产品布局
五、市场国产化率
六、行业发展成就
七、疫情影响分析
第三节、半导体产业核心设备——晶圆制造设备市场运行分析
一、设备基本概述
二、核心环节分析
三、主要厂商介绍
四、厂商竞争格局
五、市场发展规模
第四节、半导体产业核心设备——晶圆加工设备市场运行分析
一、设备基本概述
二、市场发展规模
三、市场价值构成
四、市场竞争格局
第五节、半导体设备行业财务状况分析
一、经营状况分析
二、盈利能力分析
三、营运能力分析
四、成长能力分析
五、现金流量分析
第五章 2018-2020年半导体光刻设备市场发展分析
第一节、半导体光刻环节基本概述
一、光刻工艺重要性
二、光刻工艺的原理
三、光刻工艺的流程
第二节、半导体光刻技术发展分析
一、光刻技术原理
二、光刻技术历程
三、光学光刻技术
四、EUV光刻技术
五、X射线光刻技术
六、纳米压印光刻技术
第三节、2018-2020年光刻机市场发展综述
一、光刻机工作原理
二、光刻机发展历程
三、光刻机产业链条
四、光刻机市场规模
五、光刻机市场需求
六、光刻机竞争格局
七、光刻机技术差距
第四节、光刻设备核心产品——EUV光刻机市场状况
一、EUV光刻机基本介绍
二、典型企业经营状况
三、EUV光刻机需求企业
四、EUV光刻机研发分析
第六章 2018-2020年半导体刻蚀设备市场发展分析
第一节、半导体刻蚀环节基本概述
一、刻蚀工艺介绍
二、刻蚀工艺分类
三、刻蚀工艺参数
第二节、干法刻蚀工艺发展优势分析
一、干法刻蚀优点分析
二、干法刻蚀应用分类
三、干法刻蚀技术演进
第三节、2018-2020年全球半导体刻蚀设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、设备研发支出
第四节、2018-2020年中国半导体刻蚀设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、企业发展现状
三、市场需求状况
四、市场空间测算
五、市场发展机遇
第七章 2018-2020年半导体清洗设备市场发展分析
第一节、半导体清洗环节基本概述
一、清洗环节的重要性
二、清洗工艺类型比较
三、清洗设备技术原理
四、清洗设备主要类型
五、清洗设备主要部件
第二节、2018-2020年半导体清洗设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、市场发展机遇
四、市场发展趋势
第三节、半导体清洗机领先企业布局状况
一、迪恩士公司
二、盛美半导体
三、至纯科技公司
四、国产化布局
第八章 2018-2020年半导体测试设备市场发展分析
第一节、半导体测试环节基本概述
一、测试流程介绍
二、前道工艺检测
三、中后道的测试
第二节、2018-2020年半导体测试设备市场发展状况
一、市场发展规模
二、市场竞争格局
三、细分市场结构
四、设备制造厂商
五、主要产品介绍
六、市场空间测算
第三节、半导体测试设备重点企业发展启示
一、泰瑞达
二、爱德万
第四节、半导体测试核心设备发展分析
一、测试机
二、分选机
三、探针台
第九章 2018-2020年半导体产业其他设备市场发展分析
第一节、单晶炉设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、企业竞争格局
四、市场空间测算
第二节、氧化/扩散设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、企业竞争格局
四、核心产品介绍
第三节、薄膜沉积设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、企业竞争格局
四、市场前景展望
第四节、化学机械抛光设备
一、设备基本概述
二、市场发展现状
三、市场竞争格局
四、主要企业分析
第十章 2018-2020年国外半导体设备重点企业经营状况
第一节、应用材料
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营状况
四、企业核心产品
五、企业发展前景
第二节、泛林集团
一、企业发展概况
二、企业经营状况
三、企业核心产品
四、企业发展前景
第三节、阿斯麦
一、企业发展概况
二、企业经营状况
三、企业核心产品
四、企业发展前景
第四节、东京电子
一、企业发展概况
二、企业经营状况
三、企业核心产品
四、企业发展前景
第十一章 2017-2020年国内半导体设备重点企业经营状况
第一节、半导体设备行业上市公司运行状况分析
一、上市公司规模
二、上市公司分布
第二节、浙江晶盛机电股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第三节、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第四节、中微半导体设备（上海）股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第五节、北方华创科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、经营效益分析
三、业务经营分析
四、财务状况分析
五、核心竞争力分析
六、公司发展战略
七、未来前景展望
第六节、中电科电子
一、企业发展概况
二、企业核心产品
三、企业参与项目
四、产品研发动态
五、企业发展前景
第七节、上海微电子
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业参与项目
四、企业创新能力
五、企业发展地位
第十二章 半导体设备行业投资价值分析
第一节、半导体设备企业并购市场发展状况
一、企业并购历史回顾
二、行业并购特征分析
三、企业并购动机归因
第二节、中国半导体设备市场投资机遇分析
一、行业投资机会分析
二、建厂加速拉动需求
三、产业政策扶持发展
第三节、半导体设备投资价值评估及建议
一、投资价值综合评估
二、行业投资特点分析
三、行业投资风险预警
四、行业投资策略建议
第十三章 中国行业标杆企业项目投资建设案例深度解析
第一节、半导体湿法设备制造项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、投资价值分析
四、建设内容规划
五、经济效益分析
第二节、半导体行业超高洁净管阀件生产线技改项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、投资价值分析
四、项目实施必要性
五、实施进度安排
六、经济效益分析
第三节、光刻机产业化项目
一、项目基本概述
二、资金需求测算
三、投资价值分析
四、建设内容规划
五、项目实施必要性
六、经济效益分析
第十四章 2021-2025年中国半导体设备行业发展趋势及预测分析
第一节、中国半导体产业未来发展趋势
一、技术发展利好
二、自主创新发展
三、产业地位提升
四、市场应用前景
第二节、中国半导体设备行业发展前景展望
一、政策支持发展
二、行业发展机遇
三、市场应用需求
四、行业发展前景
第三节、2021-2025年中国半导体设备行业预测分析
一、2021-2025年中国半导体设备行业影响因素分析
图表目录
图表：半导体分类结构图
图表：半导体分类
图表：半导体分类及应用
图表：半导体设备构成
图表：IC芯片制造核心工艺主要设备全景图
图表：2006-2020年中国半导体设备行业相关产业政策（一）
图表：2006-2020年中国半导体设备行业相关产业政策（二）
图表：《中国制造2025》半导体产业政策目标与政策支持
图表：2015-2030年IC产业政策目标与发展重点
图表：一期大基金投资各领域份额占比
图表：国家集成电路产业基金二期出资方（一）
图表：国家集成电路产业基金二期出资方（二）
图表：国家集成电路产业投资基金二期投资方向
图表：2015-2020年国内生产总值及其增长速度
图表：2015-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表：2020年GDP初步核算数据
图表：2018年规模以上工业增加至同比增长速度
图表：2018年规模以上工业生产主要数据
图表：2018-2020年规模以上工业增加值增速（月度同比）
图表：2019年规模以上工业企业主要财务指标（分行业）
图表：2019-2020年规模以上工业增加值同比增长速度
图表：2020年规模以上工业生产主要数据
图表：2018-2020年电子信息制造业增加值和出口交货值分月增速
图表：2018-2020年电子信息制造业营业收入、利润增速变动情况
图表：2018-2020年电子信息制造业PPI分月增速
图表：2018-2020年电子信息制造固定资产投资增速变动情况
图表：2019-2020年电子信息制造业增加值和出口交货值分月增速
图表：2019-2020年电子信息制造业营业收入、利润增速变动情况
图表：2019-2020年电子信息制造业PPI分月增速
图表：2020年电子信息制造固定资产投资增速变动情况
图表：2018-2020年通信设备行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2018-2020年电子元件行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2018-2020年电子器件行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2018-2020年计算机制造业增加值和出口交货值分月增速
图表：2020年通信设备行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2020年电子元件行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2020年电子器件行业增加值和出口交货值分月增速
图表：2020年计算机制造业增加值和出口交货值分月增速
图表：2015-2020年研究与试验发展（R&D）经费支出及其增长速度
图表：2019年专利申请、授权和有效专利情况
图表：2016-2018年国内外半导体设备代表公司的研发支出/营业收入对比
图表：2016-2018年国内外半导体设备代表公司的研发支出对比
图表：半导体企业技术迭代图
图表：2010-2020年中国A股半导体产业链企业专利数统计情况
图表：半导体产业链示意图
图表：半导体上下游产业链
图表：半导体产业转移和产业分工
图表：集成电路产业转移状况
图表：全球主要半导体厂商
图表：2007-2020年全球半导体市场规模及增长情况
图表：2008-2018年全球集成电路占半导体比重变化情况
图表：2018年全球半导体细分产品规模分布
图表：2018年全球半导体市场区域分布
图表：2015-2018年全球半导体市场区域增长
图表：1984-2024年全球半导体研发投入占比
图表：2018年全球营收前10大半导体厂商
图表：2018-2020年全球半导体支出排名
图表：国内半导体发展阶段
图表：国家集成电路产业发展推进纲要
图表：2016-2020年中国半导体销售额及同比增速
图表：2013-2020年中国半导体市场规模
图表：2019年中国集成电路产量地区分布情况
图表：IC设计的不同阶段
图表：2014-2020年中国IC设计行业销售额及增长率
图表：2010-2020年中国IC设计公司数量
图表：2020年中国IC设计企业榜单
图表：2019年全国主要城市IC设计业规模
图表：2009-2020年集成电路布图设计专利申请及发证数量
图表：从二氧化硅到“金属硅”
图表：从“金属硅”到多晶硅
图表：从晶柱到晶圆
图表：2015-2020中国IC制造业销售额及预测
图表：2018年中国集成电路制造十大企业
图表：现代电子封装包含的四个层次
图表：根据封装材料分类
图表：目前主流市场的两种封装形式
图表：封装技术微型化发展
图表：SOC与SIP区别
图表：封测技术发展重构了封测厂的角色
图表：2017-2022年先进封装市场规模预测
图表：2015-2022年FOWLP市场空间
图表：2014-2020中国IC封装测试业销售额及预测
图表：2018年中国集成电路封装测试十大企业
图表：2014-2020年全球半导体设备销售情况
图表：2018-2020年全球十大半导体设备厂商营收规模及其市场份额
图表：2020年全球半导体设备销售额及增长状况
图表：2008-2018年全球半导体设备细分市场结构
图表：全球半导体设备销售额（按地区分类）
图表：全球半导体设备销售额YoY（按地区分类）
图表：全球半导体设备企业优势产品分布图
图表：2019年全球半导体设备厂商TOP10营收排名
图表：2019年全球半导体设备厂商营收增幅排名
图表：2012-2020年中国大陆半导体设备销售额及增速
图表：2007-2022年晶圆制造每万片/月产能的投资量级
图表：晶圆制造各环节设备投资占比
图表：我国主要半导体设备企业情况分析
图表：2017-2020年中国主要半导体设备企业营业收入对比
图表：中国半导体设备代表企业的产品布局
图表：主要半导体设备国产化率及供应商
图表：开始步入生产线验证的应用于14nm的国产设备
图表：光刻、刻蚀、成膜成本占比最高
图表：硅片制造设备厂商
图表：2014-2018年全球晶圆制造设备厂商营收
图表：全球晶圆制造设备厂市场份额
图表：2016-2020年中国大陆半导体晶圆制造设备销售市场规模
图表：各种类型的CVD反应器及其主要特点
图表：2018年全球半导体晶圆加工设备市场规模
图表：2018年全球集成电路晶圆加工设备价值构成
图表：全球集成电路晶圆加工设备供应商行业集中度
图表：我国集成电路晶圆加工设备供应商分布
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司营业收入及增长率
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司净利润及增长率
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司毛利率与净利率
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司营运能力指标
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司成长能力指标
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司销售商品收到的现金占比
图表：在硅片表面构建半导体器件的过程
图表：正性光刻与负性光刻对比
图表：旋转涂胶步骤
图表：涂胶设备构成
图表：光刻原理图
图表：显影过程示意图
图表：干法（物理）、湿法（化学）刻蚀原理示意图
图表：半导体光刻技术原理
图表：光刻技术曝光光源发展历程
图表：光刻机工作原理图
图表：晶体管内部结构图
图表：光刻机产品发展历程
图表：步进式投影示意图
图表：浸没式光刻机原理
图表：光刻机产业链及关键企业
图表：2016-2018年全球光刻机销量统计
图表：2018年按销售金额统计的全球光刻机产品结构
图表：2005-2020年全球光刻机市场规模趋势
图表：2018年光刻机全球市场格局
图表：中国大陆地区部分晶圆厂光刻机国外采购供应商分布
图表：1983-2020年光刻机公司的市场格局变迁
图表：2019年全球半导体前道光刻机销售情况
图表：2019年全球半导体前道光刻机市占率情况
图表：刻蚀工艺原理
图表：刻蚀分类示意图
图表：主要刻蚀参数
图表：干法刻蚀优点分析
图表：干法刻蚀的应用
图表：传统反应离子刻蚀机示意图
图表：电子回旋加速振荡刻蚀机（ECR）示意图
图表：电容、电感耦合等离子体刻蚀机（CCP、ICP）示意图
图表：双等离子体源刻蚀机示意图
图表：原子层刻蚀（ALE）工艺示意图
图表：2018年全球半导体晶圆处理设备中刻蚀设备价值量占比
图表：前道工序设备价值量统计
图表：2016-2021年全球刻蚀机市场规模及预测
图表：2018年全球刻蚀设备市场份额分布情况
图表：2009-2018年财年应用材料、泛林半导体、东京电子研发费用及营收占比情况
图表：2005-2018年中国刻蚀设备市场规模
图表：国内刻蚀机生产企业
图表：2015-2020年中国、外国公司对中国半导体工厂投资额对比
图表：2018-2020年长江存储刻蚀设备中标公司占比
图表：2018-2020年国内在建8英寸晶圆厂进度
图表：2019-2021年国内刻蚀设备市场空间预测
图表：晶圆制造工艺中清洗步骤和目的
图表：各类常见的半导体清洗工艺对比
图表：石英加热槽结构
图表：兆声清洗槽结构
图表：2015-2020年全球清洗设备行业市场规模及预测
图表：清洗步骤约占整体步骤比重
图表：制程结构升级下清洗设备市场未来趋势
图表：2015-2020年至纯科技清洗设备研发及验证历程
图表：制程设备的竞争格局及国产品牌
图表：半导体测试流程及设备示意图
图表：晶圆制造的前道工艺检测环节设备一览
图表：IC产品的不同电学测试
图表：集成电路的生产流程及性能测试环节示意图
图表：2009-2020年全球半导体测试设备行业市场规模
图表：2016-2018年中国半导体测试设备市场规模及增长
图表：2018年全球半导体后道测试市场竞争格局
图表：2019年全球半导体测试设备行业同比
图表：2019年中国测试设备产品结构
图表：2019年中国测试设备细分市场规模
图表：半导体测试设备市场及生产厂商情况
图表：各主流测试设备公司产品情况一览
图表：2019-2020年中国半导体测试设备市场需求及测算
图表：泰瑞达半导体测试设备产品一览
图表：泰瑞达公司发展历程
图表：泰瑞达并购史
图表：公司主要业务和产品分类
图表：2019年泰瑞达分业务营收情况
图表：2018年爱德万测试发布针对SSD、汽车SoC及DRAM领域三大产品系列升级
图表：2001-2018年爱德万营收及同比情况
图表：2001-2018年爱德万净利润及同比情况
图表：2012-2018年爱德万销售额按业务分布占比情况
图表：2016-2020年爱德万测试设备订单情况
图表：2016-2020年爱德万公司分区域订单
图表：2016-2018年中国半导体测试机市场规模及增长
图表：2018年中国半导体测试机产品销售情况
图表：2018年中国半导体测试机产品结构分布
图表：2018年中国半导体测试机市场品牌结构
图表：半导体测试机技术难点
图表：重力式、转塔式、平移式分选机性能比较
图表：分选机技术难点
图表：国内外先进厂商分选机性能比较
图表：探针台主要结构示意图
图表：探针台技术难点
图表：国内外先进厂商探针台对比
图表：单晶炉设备投资占比情况
图表：单晶炉设备国内竞争厂商概况
图表：国外晶体生长炉设备供应厂商概况
图表：2019-2021年主流硅片厂扩产计划
图表：2019-2021年单晶炉市场规模测算
图表：北方华创、Mattson氧化/退火设备中标情况
图表：北方华创氧化设备中标占比
图表：氧化/扩散炉市场竞争格局
图表：北方华创氧化/扩散设备
图表：主要薄膜沉积方法例举
图表：薄膜生长设备
图表：2019年薄膜沉积设备全球市场规模
图表：化学机械抛光（CMP）工作原理
图表：国内外CMP设备竞争格局
图表：AMAT历次收购
图表：2017-2018财年应用材料公司综合收益表
图表：2017-2018财年应用材料公司分部资料
图表：2017-2018财年应用材料公司收入分地区资料
图表：2018-2020财年应用材料公司综合收益表
图表：2018-2020财年应用材料公司分部资料
图表：2018-2020财年应用材料公司收入分地区资料
图表：2019-2020财年应用材料公司综合收益表
图表：2019-2020财年应用材料公司分部资料
图表：2019-2020财年应用材料公司收入分地区资料
图表：2017-2018财年林氏研究公司综合收益表
图表：2017-2018财年林氏研究公司收入分地区资料
图表：2018-2020财年林氏研究公司综合收益表
图表：2018-2020财年林氏研究公司收入分地区资料
图表：2019-2020财年林氏研究公司综合收益表
图表：2019-2020财年林氏研究公司收入分地区资料
图表：2017-2018财年阿斯麦公司综合收益表
图表：2017-2018财年阿斯麦公司收入分地区资料
图表：2018-2020财年阿斯麦公司综合收益表
图表：2018-2020财年阿斯麦公司收入分地区资料
图表：2019-2020财年阿斯麦公司综合收益表
图表：2017-2018财年东京电子有限公司综合收益表
图表：2017-2018财年东京电子有限公司分部资料
图表：2017-2018财年东京电子有限公司收入分地区资料
图表：2018-2020财年东京电子有限公司综合收益表
图表：2018-2020财年东京电子有限公司分部资料
图表：2018-2020财年东京电子有限公司收入分地区资料
图表：2019-2020财年东京电子有限公司综合收益表
图表：2019-2020财年东京电子有限公司分部资料
图表：2019-2020财年东京电子有限公司收入分地区资料
图表：东京电子公司产品示意图
图表：2015-2018年东京电子发明者和专利数量对比
图表：半导体设备行业上市公司名单
图表：2015-2020年半导体设备行业上市公司资产规模及结构
图表：半导体设备行业上市公司上市板分布情况
图表：半导体设备行业上市公司地域分布情况
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司营业收入及增速
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司净利润及增速
图表：2018-2020年浙江晶盛机电股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司净资产收益率
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司资产负债率水平
图表：2017-2020年浙江晶盛机电股份有限公司运营能力指标
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业收入及增速
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司净利润及增速
图表：2018-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司净资产收益率
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司资产负债率水平
图表：2017-2020年深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司运营能力指标
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入及增速
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司净利润及增速
图表：2019年中微半导体设备（上海）股份有限公司主营业务分行业、产品、地区
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司净资产收益率
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司资产负债率水平
图表：2017-2020年中微半导体设备（上海）股份有限公司运营能力指标
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司净利润及增速
图表：2018-2020年北方华创科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司净资产收益率
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表：2017-2020年北方华创科技集团股份有限公司运营能力指标
图表：2014-2018年上海微电子发布的专利数量
图表：1991-2018年半导体设备企业并购阶段回顾
图表：1987-2017年半导体设备企业现金及现金等价物
图表：1996-2018年行业并购数量与行业销售额增长率
图表：半导体设备企业并购被并购方地域分布
图表：半导体设备公司并购的数量和金额特征
图表：国内主要半导体设备企业
图表：2014-2020年中国新开工晶圆厂数量
图表：2019年中国大陆在建/拟建晶圆厂统计
图表：国家支持集成电路产业发展的部分重点政策
图表：2015-2020年中国半导体设备上市公司营收增长情况
图表：半导体湿法设备制造项目募集资金总额
图表：2008-2018年我国集成电路产业规模情况
图表：2016-2021年全球晶圆总出货量情况
图表：半导体行业超高洁净管阀件生产线技改项目计划用资金情况
图表：光刻机产业化项目资金需求及应用方向
