2023半导体量测设备行业市场竞争格局分析：市场竞争格局相对集中

半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备，广义的半导体量测设备包括了Inspection和Metrology两大环节。半导体检测设备包括了异物缺陷、气泡缺陷和颗粒缺陷，而半导体量测设备主要包括光刻套刻偏移量、薄膜膜厚和三维形貌。检测指在晶圆表面上或电路结构中。量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。

摘自锐观网《2023-2028年中国半导体设备行业投资规划及前景预测报告》

资料来源：锐观咨询整理

国家将数字经济作为核心发展战略之一，半导体作为新一代信息技术的核心，是数字经济时代基石。要抓住新一轮科技和产业革命机遇，离不开半导体产业的发展。半导体行业经济体量巨大，是由上游支撑产业、中游制造产业和下游应用产业构成。尤其是下游应用领域不断拓宽。

摘自锐观网《2023-2028年中国半导体设备行业投资规划及前景预测报告》

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半导体测量设备中纳米图形晶圆缺陷检测设备销售额最高有18.9亿美元，占比为24.7%，其次是掩膜版缺陷检测设备销售额为8.6亿美元，占比11.3%，销售额第三的为关键尺寸量测设备，市场份额为7.8亿美元，占比10.2%。

摘自锐观网《2023-2028年中国半导体设备行业投资规划及前景预测报告》

图表：半导体测量设备细分市场销售额情况

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检测与量测设备2022年国内市场约200亿人民币，KLA等美系厂商主导。全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势， 2021年全球市场规模达100亿美元，预计2022年将达到 112 亿美元，中国市场在全球中占比约29%，2022年国内市场空间约200亿元。前道检测设备领域中，科磊（KLA，美国）在大部分量测设备处于龙头地位，占全球 51%的市场份额；阿斯麦（ASML，荷兰）量测业务优势领域在套刻误差测量、电子束检测，应用材料（AMAT，美国）优势领域也在电子束检测，新星测量仪器（Nova，以色列）优势领域在膜厚检测设备，日立（Hitachi，日本）则主要是 CD-SEM（关键尺寸量测-电子束）处于行业领先地位，雷泰光电（Lasertec，日本）则聚焦 EUV 掩模版检测，创新科技（OntoInnovation，美国）优势在于关键尺寸测量和缺陷检测。

摘自锐观网《2023-2028年中国半导体设备行业投资规划及前景预测报告》

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检测与量测设备国产率不足3%，未来长存、长鑫等产线扩产需要突破的关键环节。2022年10月7日，美国商务部工业和安全局（BIS）公布了一系列更广泛的出口管制新规，半导体制造端限制延伸至18纳米或以下的DRAM芯片、128层或以上的NAND闪存芯片和14纳米或以下的逻辑芯片。直接导致国内长江存储、合肥长鑫等产线扩产规划受阻，相关厂商如果未来想在此次新规限制的技术范畴内扩产，检测量测设备的突破将成为关键的一环。根据我们的测算，国内头部厂商中科飞测、精测电子、上海睿励2021年在国内检测量测设备市场份额仅1.9%、0.7%、0.2%，行业国产化率未来3-5年至少10倍级提升空间。从确定性的角度看，国内主要存储、先进逻辑产线扩产诉求强烈，检测与量测设备突破必要性强。

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半导体量测设备格局较为集中,科磊半导体(KLA)一家厂商市占率超过50%，CR5为82.4%。主要是美系制造设备占比较高，而KLA在光学检测和软件建模等方面具备较大的技术优势；而另外一方面，量测设备需要与不同的工艺设备配套，对于线上良率提升来说重要性更加明显，导致了行业集中度更高。

半导体量测设备竞争格局

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