内容概况
电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是电子工业生产的基础关键原材料。工业气体产品可分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大、纯度略低；而特种气体则属于高技术、高附加值产品，对产品的质量要求较高。《战略性新兴产业分类（2018）》将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响。
从特种气体细分市场来看，电子特气份额占比最大，2021年为63%。在中国经济结构正在优化升级的大环境下，政府重点扶持高新技术产业如集成电路、发光二级管等。电子特气为集成电路、显示面板及发光二级管的重要原材料，下游行业的高速发展加大企业对电子特气的需求。在政策利好与需求升级的双轮驱动下，中国电子特气市场呈现高速增长的状态。2017-2021年，中国电子特气市场规模从114亿元增至216亿元，年复合增长率达17.32%。
半导体集成电路为主要细分领域。电子特气的应用方向为集成电路及器件领域、面板领域和太阳能及LED领域。根据2020年中国电子特气的应用市场结构，集成电路及器件领域占比最大，为44.2%。而半导体集成电路市场广阔，将带动电子特气在集成电路领域的应用市场规模进一步提升。2021年，中国集成电路产业销售额为10458.3亿元，同比增长18.2%。
政策推动电子特气实现国产替代。2021年12月，为进一步做好重点新材料首批次应用保险补偿试点工作，工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》（下称《目录》），自2022年1月1日起施行。其中特种气体入选《目录》，共有33种特种气体入选。区域层面，2021年5月，浙江省发布了《浙江省新材料产业发展“十四五”规划》，其中提出提出重点发展包括电子特气以及下游光刻胶等半导体新材料，重点打造基于电子化学品材料的核心产业链。
多重利好叠加，国产替代进程势不可挡。随着国内半导体厂商产能的逐步释放，叠加国家相关产业政策和资金支持，国内电子特气厂商竞争优势凸显，不断突破国外技术垄断，建立起完整的生产和供应体系。当前国内厂商的部分产品性能可比肩国际先进水平，达到了集成电路生产用电子气体的技术水平和工艺要求，并逐步实现了进口替代。国产替代进程势不可挡，特种气体国产化是未来行业发展的必然趋势。
产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气行业投资规划及前景预测报告》共十一章。报告首先介绍了电子特气的相关定义、全球电子特气行业发展情况、以及电子特气发展背景和环境。接着分析了电子特气行业总体市场及细分市场的发展状况，然后对电子特气行业下游应用领域和国内外重点企业经营状况做了详实的解析，最后重点分析了电子特气行业投资状况和典型项目案例，并对电子特气行业的发展前景做出了科学的分析和预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、商务部、工信部、环保部、发改委、中国环境保护协会、产业研究院、产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对行业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对电子特气市场有个系统深入的了解、或者想投资电子特气市场项目，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 电子特气行业概述
第一节、电子特气相关界定
一、电子特气的含义
二、电子特气的分类
三、电子特气的纯度
第二节、电子特气工艺分类
一、化学气相沉积工艺
二、光刻工艺
三、刻蚀工艺
四、掺杂工艺
第三节、电子特气工艺流程
一、气体纯化
二、气体合成
三、空气分离
四、气体充装
五、气体混配
六、气体检测
七、气瓶处理
第二章 2020-2022年全球电子特气行业发展综况
第一节、2020-2022年全球电子特气发展现状
一、市场发展现状
二、市场发展规模
三、市场份额分布
四、企业竞争格局
五、企业营收情况
六、产业链条布局
七、应用领域分布
八、产品技术分析
第二节、2020-2022年美国电子特气发展分析
一、市场相关政策
二、市场主体介绍
三、企业布局动态
四、市场发展困境
第三节、2020-2022年日本电子特气发展分析
一、市场发展现状
二、市场供求分析
三、市场主体介绍
四、企业营收情况
五、企业布局动态
六、出口管制施行
第四节、全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
一、设备制造+气体服务齐头并进
二、通过收购快速开拓国际市场
三、通过技术创新丰富产品结构
第三章 2020-2022年中国电子特气行业发展环境
第一节、经济环境
一、宏观经济概况
二、工业运行情况
三、固定资产投资
四、宏观经济展望
第二节、政策环境
一、行业主管部门
二、政策发展历程
三、行业相关政策
四、行业支持政策
五、行业标准汇总
六、细分品类标准
七、区域政策动态
八、政策发展规划
第三节、行业环境
一、工业气体基本概述
二、工业气体发展特点
三、工业气体市场规模
四、工业气体区域竞争
五、工业气体竞争梯队
六、工业气体对外贸易
七、工业气体产品布局
八、工业气体发展趋势
第四章 2020-2022年中国电子特气行业运行状况
第一节、中国电子特气行业产业链分析
一、产业链条分析
二、上游供应情况
三、下游应用结构
四、产业链企业布局
第二节、2020-2022年中国电子特气市场发展状况
一、行业发展历程
二、市场发展地位
三、市场发展态势
四、市场发展规模
五、市场供应模式
六、波特五力模型
第三节、2020-2022年中国电子特气企业竞争情况
一、企业竞争优势
二、企业竞争格局
三、主要企业介绍
四、企业产品布局
五、企业营收情况
六、企业产品应用
七、企业研发投入
八、企业区域布局
第四节、中国电子特气行业技术发展状况分析
一、电子特气行业技术发展需求
二、电子特气行业技术发展意义
三、典型电子特气企业研发成果
四、高纯含氟电子气体国产化成功
五、高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
第五节、中国电子特气行业发展问题及建议
一、行业起步较晚
二、行业竞争加剧
三、国际贸易摩擦
四、气体供应紧缺
五、行业发展建议
第五章 2020-2022年中国电子特气细分市场发展分析
第一节、清洗、蚀刻工艺特气
一、三氟化氮（NF3）
二、四氟化碳（CF4）
三、六氟化硫（SF6）
四、六氟乙烷（C2F6）
五、八氟丙烷（C3F8）
六、八氟环丁烷（C4F8）
第二节、氧化/沉积工艺特气
一、六氟化钨（WF6）
二、氧化亚氮（N2O）
三、氨气（NH3）
四、硅烷（SiH4）
五、锗烷（GeH4）
第三节、氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
一、磷烷（PH3）
二、砷烷（AsH3）
三、乙硼烷（B2H6）
第四节、其他电子特气
一、六氟丁二烯（C4F6）
二、羰基硫（COS）
三、三氟化硼（BF3）
四、硒化氢（SeH2）
第六章 2020-2022年中国电子特气行业下游应用领域分析
第一节、半导体行业
一、半导体行业发展综述
二、半导体材料国产化
三、电子特气制程介绍
四、电子特气应用情况
五、电子特气应用规模
六、电子特气应用需求
七、电子特气应用前景
第二节、LED行业
一、LED行业发展综述
二、电子特气应用情况
三、电子特气应用前景
第三节、LCD行业
一、LCD行业发展综述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用现状
四、电子特气具体应用
五、电子特气应用前景
第四节、太阳能电池行业
一、太阳能电池发展概述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用情况
四、电子特气应用前景
第七章 2020-2022年国外电子特气行业重点企业经营情况
第一节、美国空气化工产品
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业经营状况
五、企业技术创新
第二节、林德集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业经营状况
四、电子气体营收
五、企业技术创新
第三节、法国液空集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业经营状况
四、电子特气营收
五、工业网路组织
六、企业发展战略
第四节、日本酸素公司
一、企业发展概况
二、企业经营状况
三、企业功能扩展
四、企业基础技术
五、企业布局动态
六、企业发展前景
第五节、日本昭和电工株式会社
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业经营状况
五、企业发展动态
第六节、其他企业
一、大阳日酸
二、关东电化
三、艾迪科
第八章 2019-2022年中国电子特气行业重点企业经营情况
第一节、广东华特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业业务模式
六、企业业务布局
七、企业技术发展
八、企业项目布局
第二节、苏州金宏气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业工艺介绍
四、企业经营现状
五、特气营收情况
六、企业产能规模
七、企业产品布局
八、企业技术发展
九、企业在研项目
十、企业收购动态
第三节、江苏雅克科技股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、企业产品布局
五、电子特气营收
六、企业项目动态
第四节、江苏南大光电材料股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、特气布局分析
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第五节、昊华化工科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业产能规模
六、企业产品布局
七、企业研发投入
八、企业项目动态
第六节、湖南凯美特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业竞争优势
四、企业经营现状
五、气体营收分布
六、电子特气销售
七、企业产品布局
八、企业研发投入
九、企业项目动态
第七节、湖北和远气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业经营现状
三、电子特气营收
四、电子特气供应
五、企业研发投入
六、企业项目动态
第八节、其他企业
一、杭氧股份
二、巨化股份
三、正帆科技
四、派瑞特气
五、博纯材料
六、绿菱公司
七、硅烷科技
八、同辉气体
九、太和气体
第九章 2020-2022年中国电子特气行业投资分析
第一节、2020-2022年中国电子特气行业投融资状况
一、企业投资规模
二、行业融资现状
三、企业融资动态
四、企业战略合作
五、项目投资进展
第二节、中国电子特气行业投资进入壁垒
一、技术壁垒
二、客户壁垒
三、服务壁垒
四、资金壁垒
五、资质壁垒
第三节、中国电子特气行业投资风险及策略
一、行业投资风险
二、行业投资策略
三、项目投资方向
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
第一节、宜章凯美特特种气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概算
四、项目经济效益
五、项目备案情况
第二节、南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目建设周期
四、项目投资概算
五、产能消化空间
六、项目经济效益
七、项目备案进展
第三节、正帆科技气体扩产项目
一、项目基本情况
二、项目投资可行性
三、项目建设主体
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、项目环保措施
第四节、派瑞特气三氟化氮项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概况
四、项目建设进度
五、项目经济效益
第五节、派瑞特气高纯电子气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概算
四、项目建设进度
五、项目经济效益
第十一章 2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
第一节、中国电子特气行业未来发展趋势
一、行业发展机遇
二、行业发展趋势
三、国产替代趋势
第二节、2023-2028年中国电子特气行业预测分析
一、2023-2028年中国电子特气行业影响因素分析
图表目录
图表1 电子特种气体分类
图表2 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表3 三种分离方法比较
图表4 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表5 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表6 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表7 刻蚀机中辉光放电原理
图表8 离子注入工艺流程
图表9 离子注入机之磁分析器结构简图
图表10 离子注入机设备结构简图
图表11 电子气体纯度要求
图表12 气体纯化工艺流程图
图表13 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表14 空气分离工艺流程图资
图表15 气体充装工艺流程图
图表16 气体混配工艺流程图
图表17 气体检验工艺流程图
图表18 气瓶处理工艺流程图
图表19 2021、2025年全球电子气体市场规模
图表20 2020年全球电子特种气体行业市场竞争格局
图表21 全球工业气体知名企业
图表22 2021年全球四大气体公司营业收入
图表23 海外电子气体产业链
图表24 全球电子特气行业市场应用结构
图表25 海外电子特气厂商产品技术情况
图表26 工业气体龙头的发展路径
图表27 林德集团的收购事件
图表28 空气化工的技术、产品和市场
图表29 2020年GDP最终核实数与初步核算数对比
图表30 2021年GDP初步核算数据
图表31 2022年我国GDP初步核算数据
图表32 2020-2021年我国规模以上工业增加值同比增长速度
图表33 2021年规模以上工业生产主要数据
图表34 2021-2022年我国规模以上工业增加值同比增长速度
图表35 2022年规模以上工业生产主要数据
图表36 2020-2021年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表37 2021年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表38 2021-2022年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表39 2022年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表40 电子特气行业主管部门
图表41 电子特气相关政策演变
图表42 2016-2021年电子特气行业的相关国家政策
图表43 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细
图表44 图表：《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细（续）
图表45 2020-2022年电子特种气体国家标准
图表46 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表47 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表48 现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表49 现行有效其他含氟气体标准
图表50 2021年地方层面电子特气行业政策
图表51 工业气体的用途
图表52 中国工业气体行业的周期性和区域性
图表53 2017-2022年中国工业气体市场规模
图表54 截止2022年中国工业气体行业企业主要区域分布top10
图表55 截止2022年中国工业气体行业主要企业区域分布占比
图表56 中国工业气体市场竞争格局
图表57 2020年中国工业气体市场份额占比
图表58 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表59 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表60 2021年我国主要工业气体进口来源地进口额
图表61 2021年我国主要工业气体出口目的地出口额
图表62 2020年中国气体行业知名品牌
图表63 电子特气产业链
图表64 电子气体行业上游原材料和设备情况
图表65 2021年中国电子特气下游应用占比
图表66 电子特气行业产业链企业图谱
图表67 国内外电子特气行业发展历程时间轴
图表68 电子特气是气体行业的重要分支
图表69 2017-2021年中国特种气体细分市场规模
图表70 电子气体行业供气经营业务模式特点
图表71 电子气体行业供应模式与要点
图表72 TGCM一站式服务模式
图表73 电子气体行业五力模型
图表74 林德集团在我国工厂分布较为分散
图表75 林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表76 2020年我国电子特气市场份额占比
图表77 国内电子特气公司已实现进口替代并规模化供应的产品
图表78 2018-2021年主要气体公司特种气体收入占总营收的比例
图表79 2018-2021年主要气体公司特种气体收入情况
图表80 2018-2021年主要气体公司特种气体业务的毛利率情况
图表81 2018-2021年主要气体公司电子特气产品种类及半导体领域应用
图表82 电子特气行业公司主要核心技术
图表83 2018-2021年主要气体公司研发费用情况
图表84 截至2021年末主要气体公司发明专利数量
图表85 截至2021年末主要气体公司研发人员数量
图表86 截至2021年末主要气体公司研发人员占比
图表87 电子特气的供气模式以零售供气为主
图表88 国内气体企业加速扩展地域布局
图表89 国内气体企业在研电子特气项目充足、多项技术可实现进口替代
图表90 国内电子气体企业与国外的主要差距
图表91 大宗气体生产与国际差距主要表现在提纯净化
图表92 特种气体生产技术不过关，总体供应呈短缺状态
图表93 包装、检测及处理等共性技术方面普遍存在短板
图表94 2022年氖、氪价格走势
图表95 2022年氙气价格走势
图表96 三氟化氮理化性质分析
图表97 2015-2021年中国三氟化氮行业产量
图表98 三氟化氮主要应用领域
图表99 2021年三氟化氮在不同领域的应用占比
图表100 2021年我国部分企业三氟化氮产能统计
图表101 四氟化碳应用领域
图表102 四氟化碳用途占比情况
图表103 国内四氟化碳产能
图表104 六氟化硫应用领域
图表105 国内六氟化硫产能
图表106 六氟乙烷主要公司产能
图表107 八氟丙烷主要公司产能
图表108 八氟环丁烷主要公司产能
图表109 全球六氟化钨市场消费量
图表110 六氟化钨主要公司产能
图表111 氧化亚氮主要公司产能
图表112 高纯氨气主要公司产能
图表113 硅烷主要公司产能
图表114 锗烷主要公司产能
图表115 磷烷主要公司产能
图表116 砷烷主要公司产能
图表117 乙硼烷主要公司产能
图表118 六氟丁二烯主要公司产能
图表119 羰基硫主要公司产能
图表120 三氟化硼主要公司产能
图表121 硒化氢主要公司产能
图表122 半导体材料国产化情况
图表123 集成电路制造工艺流程
图表124 电子特气在半导体中应用
图表125 2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表126 2009-2020年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高
图表127 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表128 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表129 红光Micro LED技术突破汇总表
图表130 全彩化Micro LED技术突破汇总表
图表131 2021年重大LED项目汇总表
图表132 2021年LED行业战略合作案例
图表133 2017-2021年中国LED照明行业市场规模情况
图表134 2017-2021年中国LED照明产品渗透率变化情况
图表135 LED生产流程
图表136 LED生产外延片制造和芯片制程
图表137 全球面板产业发展简史
图表138 中国面板产业发展历程
图表139 2010-2022年全球LCD面板产能面积变化情况
图表140 TFT-LCD制造流程
图表141 TFT干刻气体选择
图表142 显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表143 太阳能电池分类
图表144 太阳能电池行业产业链示意图
图表145 2015-2021年中国太阳能电池产量及增速
图表146 2021年中国太阳能电池产量排行TOP10地区
图表147 太阳能电池制程介绍
图表148 空气化工发展历程
图表149 空气化工电子领域业务概况
图表150 美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表151 2019-2020财年空气化工公司综合收益表
图表152 2020-2021财年空气化工公司综合收益表
图表153 2020-2021财年空气化工公司收入分地区资料
图表154 2021-2022财年空气化工公司综合收益表
图表155 2021-2022财年空气化工公司收入分地区资料
图表156 空气化工创新性技术
图表157 林德集团发展历程
图表158 林德集团电子领域产品概况
图表159 2019-2020年林德集团综合收益表
图表160 2019-2020年林德集团分部资料
图表161 2020-2021年林德集团综合收益表
图表162 2020-2021年林德集团分部资料
图表163 2021-2022年林德集团综合收益表
图表164 2021-2022年林德集团分部资料
图表165 2021年林德集团业务占比情况
图表166 林德集团四大突破性技术
图表167 液化空气发展历程
图表168 液化空气电子领域业务概况
图表169 2019-2020年法国液化空气集团综合收益表
图表170 2019-2020年法国液化空气集团分部资料
图表171 2020-2021年法国液化空气集团综合收益表
图表172 2020-2021年法国液化空气集团分部资料
图表173 2021-2022年上半年法国液化空气集团综合收益表
图表174 2021-2022年上半年法国液化空气集团分部资料
图表175 2021-2022年第三季度法国液化空气集团分部资料
图表176 2021年法国液化空气集团分业务构成
图表177 液化空气高效的工业网络组织
图表178 液化空气四大战略支柱
图表179 日本酸素业务概况
图表180 日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表181 2020-2021财年日本酸素控股集团综合收益表
图表182 2020-2021财年日本酸素控股集团分部资料
图表183 2021-2022财年日本酸素控股集团综合收益表
图表184 2021-2022财年日本酸素控股集团分部资料
图表185 2022-2023财年日本酸素控股集团综合收益表
图表186 2022-2023财年日本酸素控股集团分部资料
图表187 日本酸素扩展五大功能
图表188 日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表189 昭和电工业务概况
图表190 昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表191 2018-2019年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表192 2019-2020年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表193 2020-2021年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表194 日本大阳日酸发展历史
图表195 日本大阳日酸气体种类及应用领域
图表196 关东化工气体种类及应用领域
图表197 艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表198 华特气体发展历程
图表199 2019-2022年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表200 2019-2022年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表201 2019-2022年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表202 2021年广东华特气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表203 2021年广东华特气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表204 2021-2022年广东华特气体股份有限公司营业收入情况
图表205 2019-2022年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表206 2019-2022年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表207 2019-2022年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表208 2019-2022年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表209 2019-2022年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表210 2021年华特气体业务构成图
图表211 2019-2021年华特气体各业务收入同比增长率
图表212 华特气体业务模式及主要客户
图表213 华特气体产品情况
图表214 华特气体核心技术及优势
图表215 2018-2021年华特气体研发费用及研发费用占比
图表216 公司主要特气产能及募投产能情况
图表217 金宏气体历史沿革
图表218 金宏气体七大工艺
图表219 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表220 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表221 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表222 2021年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表223 2021年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表224 2021-2022年苏州金宏气体股份有限公司营业收入情况
图表225 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表226 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表227 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表228 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表229 2019-2022年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表230 2021年金宏气体分业务占比
图表231 金宏气体特气产能及规划
图表232 金宏气体主要气体产品
图表233 金宏气体部分主要产品的国内市场份额
图表234 金宏气体主要专利技术
图表235 金宏气体部分在研气体项目
图表236 金宏气体部分在研气体项目（续）
图表237 金宏气体收购企业一览
图表238 雅克科技发展历程
图表239 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表240 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表241 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表242 2020-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表243 2021-2022年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表244 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表245 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表246 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表247 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表248 2019-2022年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表249 雅克科技产品构成
图表250 雅克电子特气解析
图表251 2021年雅克科技营收分布（按产品）
图表252 雅克科技主要产品产能情况
图表253 南大光电主营业务
图表254 南大光电历史沿革
图表255 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表256 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表257 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表258 2020-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表259 2021-2022年江苏南大光电材料股份有限公司主营业务分产品或服务
图表260 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表261 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表262 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表263 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表264 2019-2022年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表265 2021年南大光电业务构成图
图表266 2017-2021年南大光电各业务收入同比增长率
图表267 南大光电特气产能情况
图表268 南大光电主要气体产品
图表269 2018-2021年研发费用及研发费用占比图
图表270 2017-2021年南大光电人均创收和人均创利
图表271 昊华科技主要产品分布
图表272 昊华科技发展历程
图表273 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表274 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表275 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表276 2021年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分行业、产品、地区
图表277 2021年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分销售模式
图表278 2021-2022年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入情况
图表279 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表280 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表281 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表282 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表283 2019-2022年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表284 2021年昊华科技营收分布
图表285 昊华科技特气产能扩张规划
图表286 昊华科技气体产品线
图表287 昊华科技气体扩产
图表288 2018-2020年昊华科技研发趋势
图表289 凯美特气历史沿革
图表290 凯美特气电子特气项目建设规划
图表291 凯美特气电子特气产品认证情况
图表292 2021-2022年凯美特气披露的电子特气销售订单
图表293 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表294 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表295 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表296 2020-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表297 2021-2022年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表298 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表299 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表300 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表301 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表302 2019-2022年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表303 2018-2022年凯美特气分产品营收占比
图表304 2018-2022年凯美特气分产品毛利占比
图表305 2021-2022年凯美特气电子特气销售情况
图表306 凯美特气子公司及产品布局
图表307 2018-2021凯美特气研发费用及占比
图表308 2017-2021凯美特气人均创收及人均创利
图表309 凯美特气募投项目
图表310 和远气体历史沿革
图表311 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表312 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表313 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表314 2020-2021年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表315 2021-2022年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表316 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表317 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表318 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表319 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表320 2019-2022年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表321 2022年和远气体业务结构
图表322 2017-2022年和远气体各业务收入同比增长率
图表323 和远气体产品与供应布局
图表324 2017-2021年和远气体研发费用及研发费用占比
图表325 2017-2021年和远气体人均创收和人均创利
图表326 和远气体电子特气主要投资项目
图表327 杭氧股份产品线
图表328 杭氧股份6大供气模式
图表329 2010-2021年杭氧股份各业务营业收入
图表330 2010-2021年杭氧股份各业务收入占比
图表331 巨化股份产品线
图表332 巨化股份电子级气体
图表333 2021年正帆科技业务构成
图表334 2017-2021年正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率
图表335 正帆科技电子气体主要产品
图表336 派瑞特气发展阶段
图表337 博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表338 绿菱公司历史沿革
图表339 绿菱公司产线及纯度
图表340 硅烷科技发展历程
图表341 同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表342 太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表343 国产电子特气供应商募资扩产计划
图表344 国产电子特气供应商现有产能及预计新增产能情况
图表345 2021-2022年电子特气行业IPO与再融资
图表346 国内电子特气主要厂商产能情况及项目进展
图表347 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目建设周期
图表348 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目投资概算
图表349 正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表350 正帆科技气体扩产项目投资明细
图表351 派瑞特气三氟化氮项目投资概算
图表352 派瑞特气三氟化氮项目建设进度计划
图表353 派瑞特气高纯电子气体项目投资概算
图表354 派瑞特气高纯电子气体项目建设进度计划
