内容概况
电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是电子工业生产的基础关键原材料。工业气体产品可分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大、纯度略低；而特种气体则属于高技术、高附加值产品，对产品的质量要求较高。《战略性新兴产业分类（2018）》将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响。
电子特气全球产业链向国内转移，发展空间大。随着全球半导体产业链向国内转移，中国电子气体市场提速明显，远高于全球增速。中国电子特气2020年市场规模为150亿元，占全球比例约为48%，相较于2011年占比翻了一倍，2011-2020年中国市场规模复合增长率远高于全球数据。
半导体集成电路为主要细分领域。电子特气的应用方向为集成电路及器件领域、面板领域和太阳能及LED领域。根据2020年中国电子特气的应用市场结构，集成电路及器件领域占比最大，为44.2%。而半导体集成电路市场广阔，将带动电子特气在集成电路领域的应用市场规模进一步提升。2020年中国半导体集成电路销售额达8848亿元，同比增长率17%，远高于全球增长率8.4%。
政策推动电子特气实现国产替代。2021年12月，为进一步做好重点新材料首批次应用保险补偿试点工作，工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》（下称《目录》），自2022年1月1日起施行。其中特种气体入选《目录》，共有33种特种气体入选。区域层面，2021年5月，浙江省发布了《浙江省新材料产业发展“十四五”规划》，其中提出提出重点发展包括电子特气以及下游光刻胶等半导体新材料，重点打造基于电子化学品材料的核心产业链。
多重利好叠加，国产替代进程势不可挡。随着国内半导体厂商产能的逐步释放，叠加国家相关产业政策和资金支持，国内电子特气厂商竞争优势凸显，不断突破国外技术垄断，建立起完整的生产和供应体系。当前国内厂商的部分产品性能可比肩国际先进水平，达到了集成电路生产用电子气体的技术水平和工艺要求，并逐步实现了进口替代。国产替代进程势不可挡，特种气体国产化是未来产业发展的必然趋势。
产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气产业全景调查及投资咨询报告》共十一章。报告首先介绍了电子特气的相关定义、全球电子特气产业发展情况、以及电子特气发展背景和环境。接着分析了电子特气产业总体市场及细分市场的发展状况，然后对电子特气产业下游应用领域和国内外重点企业经营状况做了详实的解析，最后重点分析了电子特气产业投资状况和典型项目案例，并对电子特气产业的发展前景做出了科学的分析和预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、商务部、工信部、环保部、发改委、中国环境保护协会、产业研究院、产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对产业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对电子特气市场有个系统深入的了解、或者想投资电子特气市场项目，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
报告目录
第一章 电子特气产业概述
第一节、电子特气相关界定
一、电子特气的含义
二、电子特气的分类
三、电子特气的纯度
第二节、电子特气工艺分类
一、化学气相沉积工艺
二、光刻工艺
三、刻蚀工艺
四、掺杂工艺
第三节、电子特气工艺流程
一、气体纯化
二、气体合成
三、空气分离
四、气体充装
五、气体混配
六、气体检测
七、气瓶处理
第二章 2020-2022年全球电子特气产业发展综况
第一节、2020-2022年全球电子特气发展现状
一、市场发展规模
二、市场份额分布
三、企业竞争格局
四、企业营收情况
五、产业链条布局
六、应用领域分布
七、产品技术分析
第二节、2020-2022年美国电子特气发展分析
一、市场相关政策
二、市场主体介绍
三、企业布局动态
四、市场发展困境
第三节、2020-2022年日本电子特气发展分析
一、市场发展现状
二、市场需求分析
三、市场主体介绍
四、企业营收情况
五、企业布局动态
六、出口管制施行
第四节、全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
一、设备制造+气体服务齐头并进
二、通过收购快速开拓国际市场
三、通过技术创新丰富产品结构
第三章 2020-2022年中国电子特气产业发展环境
第一节、经济环境
一、宏观经济概况
二、工业运行情况
三、固定资产投资
四、宏观经济展望
第二节、政策环境
一、产业主管部门
二、产业相关政策
三、产业支持政策
四、产业标准汇总
五、细分品类标准
六、区域政策动态
第三节、产业环境
一、工业气体基本概述
二、工业气体发展特点
三、工业气体市场规模
四、工业气体区域竞争
五、工业气体竞争梯队
六、工业气体企业份额
七、工业气体产品布局
八、工业气体发展趋势
第四章 2020-2022年中国电子特气产业运行状况
第一节、中国电子特气产业产业链分析
一、产业链条分析
二、上游供应情况
三、下游应用结构
四、产业链企业布局
第二节、2020-2022年中国电子特气市场发展状况
一、产业发展历程
二、市场发展地位
三、市场发展态势
四、市场发展规模
五、市场供应模式
六、波特五力模型
第三节、2020-2022年中国电子特气企业竞争情况
一、企业竞争优势
二、企业竞争格局
三、主要企业介绍
四、企业产品布局
五、企业营收情况
六、市场地位对比
第四节、中国电子特气产业技术发展状况分析
一、电子特气产业技术发展需求
二、电子特气产业技术发展意义
三、典型电子特气企业研发成果
四、高纯含氟电子气体国产化成功
五、高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
第五节、中国电子特气产业发展问题及建议
一、产业起步较晚
二、产业竞争加剧
三、国际贸易摩擦
四、技术存在短板
五、产业发展建议
第五章 2020-2022年中国电子特气细分市场发展分析
第一节、清洗、蚀刻工艺特气
一、三氟化氮（NF3）
二、四氟化碳（CF4）
三、六氟化硫（SF6）
四、六氟乙烷（C2F6）
五、八氟丙烷（C3F8）
六、八氟环丁烷（C4F8）
第二节、氧化/沉积工艺特气
一、六氟化钨（WF6）
二、氧化亚氮（N2O）
三、氨气（NH3）
四、硅烷（SiH4）
五、锗烷（GeH4）
第三节、氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
一、磷烷（PH3）
二、砷烷（AsH3）
三、乙硼烷（B2H6）
第四节、其他电子特气
一、六氟丁二烯（C4F6）
二、羰基硫（COS）
三、三氟化硼（BF3）
四、硒化氢（SeH2）
第六章 2020-2022年中国电子特气产业下游应用领域分析
第一节、半导体产业
一、半导体产业发展综述
二、半导体材料国产化
三、电子特气制程介绍
四、电子特气应用情况
五、电子特气应用规模
六、电子特气应用需求
七、电子特气应用前景
第二节、LED产业
一、LED产业发展综述
二、电子特气应用情况
三、电子特气应用前景
第三节、LCD产业
一、LCD产业发展综述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用现状
四、电子特气具体应用
五、电子特气应用前景
第四节、太阳能电池产业
一、太阳能电池发展概述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用情况
四、电子特气应用规模
第七章 2020-2022年国外电子特气产业重点企业经营情况
第一节、美国空气化工产品
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业技术创新
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第二节、林德集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业技术创新
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第三节、法国液空集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、工业网路组织
五、企业发展战略
六、2019年企业经营状况分析
七、2020年企业经营状况分析
八、2021年企业经营状况分析
第四节、日本酸素公司
一、企业发展概况
二、企业功能扩展
三、企业基础技术
四、企业销售情况
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第五节、日本昭和电工株式会社
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业项目动态
五、2019年企业经营状况分析
六、2020年企业经营状况分析
七、2021年企业经营状况分析
第六节、其他企业
一、太阳日酸
二、关东电化
三、艾迪科
第八章 2019-2022年中国电子特气产业重点企业经营情况
第一节、广东华特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业业务模式
六、企业业务布局
七、企业技术发展
八、企业项目布局
第二节、苏州金宏气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业工艺介绍
四、企业经营现状
五、特气营收情况
六、企业产能规模
七、企业产品布局
八、企业技术发展
第三节、江苏雅克科技股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、电子特气营收
五、企业产品布局
六、细分产品介绍
七、企业项目动态
第四节、江苏南大光电材料股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、特气布局分析
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第五节、昊华化工科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业产能规模
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第六节、湖南凯美特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业竞争优势
四、企业经营现状
五、气体营收分布
六、产品销售情况
七、特气布局分析
八、企业产品布局
九、企业研发投入
十、企业项目动态
第七节、湖北和远气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业经营现状
三、电子特气营收
四、电子特气供应
五、企业研发投入
六、企业项目动态
第八节、其他企业
一、杭氧股份
二、巨化股份
三、正帆科技
四、派瑞特气
五、博纯材料
六、绿菱公司
七、硅烷科技
八、同辉气体
九、太和气体
第九章 2020-2022年中国电子特气产业投资分析
第一节、2020-2022年中国电子特气产业投融资状况
一、产业投资现状
二、企业融资动态
三、企业战略合作
四、项目投资布局
五、产业投资机遇
第二节、中国电子特气产业投资进入壁垒
一、技术壁垒
二、客户壁垒
三、服务壁垒
四、资金壁垒
五、资质壁垒
第三节、中国电子特气产业投资风险及策略
一、产业投资风险
二、产业投资策略
三、项目投资建议
第十章 中国电子特气产业典型项目投资建设深度解析
第一节、雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资优势
四、项目实施主体
五、项目建设周期
六、项目投资概算
七、项目经济效益
第二节、南大光电三氟化氮生产装置项目
一、项目基本情况
二、项目投资内容
三、项目投资价值
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、产能消化空间
七、项目经济效益
八、项目备案进展
第三节、正帆科技气体扩产项目
一、项目基本情况
二、项目投资可行性
三、项目建设主体
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、项目环保措施
第四节、金宏气体集成电路用高纯气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资背景
三、项目建设方案
四、主要设备配置
五、项目物料及能源供应
六、项目环境影响及设施
七、项目组织方式和实施进展
八、项目投资概算及财务评价
第十一章 2023-2028年中国电子特气产业发展趋势及前景预测
第一节、中国电子特气产业未来发展趋势
一、产业发展机遇
二、产业发展趋势
三、国产替代趋势
第二节、2023-2028年中国电子特气产业预测分析
一、2023-2028年中国电子特气产业影响因素分析
图表目录
图表：不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表：三种分离方法比较
图表：化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表：光刻工艺中电子气体的使用流程
图表：刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表：刻蚀机中辉光放电原理
图表：离子注入工艺流程
图表：离子注入机之磁分析器结构简图
图表：离子注入机设备结构简图
图表：电子气体纯度要求
图表：气体纯化工艺流程图
图表：气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表：空气分离工艺流程图资
图表：气体充装工艺流程图
图表：气体混配工艺流程图
图表：气体检验工艺流程图
图表：气瓶处理工艺流程图
图表：全球电子气体市场规模
图表：2020全球电子气体细分市场格局
图表：2019年全球电子特气市场格局
图表：全球电子特种气体知名企业
图表：2019年全球各公司特气业务营收
图表：海外电子气体产业链
图表：2019年全球电子特气产业下游应用结构
图表：海外电子特气厂商产品技术情况
图表：日本主要电子特气需求量及增速
图表：工业气体龙头的发展路径
图表：林德集团的收购事件
图表：空气化工的技术、产品和市场
图表：2015-2019年国内生产总值及其增长速度
图表：2015-2019年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表：2015-2019年万元国内生产总值能耗降低率
图表：2016-2020年国内生产总值及其增长速度
图表：2016-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表：2021年GDP初步核算数据
图表：2019年各月累计营业收入与利润总额同比增速
图表：2019年规模以上工业企业主要财务指标（分产业）
图表：2016-2020年全部工业增加值及增长速度
图表：2020年主要工业产品产量及其增长速度
图表：2020-2021年规模以上工业增加值同比增长速度
图表：2021年规模以上工业生产主要数据
图表：2019年中国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表：2019年中国固定资产投资（不含农户）主要数据
图表：2020年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表：2020年分产业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表：2020-2021年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表：2021年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表：电子特气产业主管部门
图表：2009-2020年电子特气产业的相关国家政策
图表：2017-2019年中国重点新材料目录-特种气体入选数量
图表：《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》-电子特气入选目录明细
图表：2005-2020年电子特种气体国际标准
图表：2008-2021年电子特种气体国家标准
图表：现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表：现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表：现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表：现行有效其他含氟气体标准
图表：工业气体的用途
图表：中国工业气体产业的周期性和区域性
图表：2014-2020年中国工业气体市场规模
图表：中国工业气体产业企业按区域分布情况
图表：2020年中国工业气体产业竞争梯队（按相关营收划分）
图表：2020年国内工业气体产业主要企业市场占比
图表：2020年中国气体产业知名品牌
图表：电子特气产业链
图表：电子气体产业上游原材料和设备情况
图表：2020年中国电子特气应用市场结构
图表：电子特气产业产业链企业图谱
图表：电子特气产业发展历程
图表：电子特气是气体产业的重要分支
图表：2013-2020年中国电子特种气体市场规模及增速
图表：电子气体产业供气经营业务模式特点
图表：电子气体产业供应模式与要点
图表：TGCM一站式服务模式
图表：电子气体产业五力模型
图表：林德集团在我国工厂分布较为分散
图表：林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表：2019年我国电子特气市场格局
图表：国内主要电子气体公司产品
图表：八大国内电子气体供应商对比
图表：八大国内电子气体供应商对比（续）
图表：2019年国内外主要电子气公司业绩表
图表：2018-2021年全球NF3市场需求
图表：2015-2021年国内NF3市场需求
图表：三氟化氮主要公司产能
图表：国内四氟化碳需求
图表：四氟化碳主要公司产能
图表：六氟化硫主要公司产能
图表：六氟乙烷主要公司产能
图表：八氟丙烷主要公司产能
图表：八氟环丁烷主要公司产能
图表：2014-2019年全球六氟化钨市场消费量
图表：六氟化钨主要公司产能
图表：氧化亚氮主要公司产能
图表：高纯氨器主要公司产能
图表：硅烷主要公司产能
图表：锗烷主要公司产能
图表：磷烷主要公司产能
图表：砷烷主要公司产能
图表：乙硼烷主要公司产能
图表：六氟丁二烯主要公司产能
图表：羰基硫主要公司产能
图表：三氟化硼主要公司产能
图表：硒化氢主要公司产能
图表：2000-2020年全球半导体市场规模及增速
图表：2015-2020年中国集成电路市场规模及增速
图表：2010-2020年全球半导体兼并和收购案金额
图表：半导体材料国产化情况
图表：集成电路制造工艺流程
图表：常见的气相沉积气体
图表：常见的刻蚀气体
图表：常见的掺杂气体
图表：2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表：2009-2020年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高
图表：半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表：半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表：2015-2020年全球晶圆产能转移
图表：我国主要晶圆厂商在建产能情况
图表：2016-2021年中国LED照明产业市场规模渗透率
图表：LED生产流程
图表：LED生产外延片制造和芯片制程
图表：全球面板产业发展简史
图表：中国面板产业发展历程
图表：1999-2020年全球LCD产能区域结构分布情况
图表：TFT-LCD制造流程
图表：TFT干刻气体选择
图表：显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表：太阳能电池的分类
图表：太阳能电池制程介绍
图表：2020-2021年中国太阳能电池产量
图表：空气化工发展历程
图表：空气化工电子领域业务概况
图表：美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表：空气化工创新性技术
图表：2018-2019年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表：2018-2019年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表：2018-2019年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表：2019-2020年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表：2019-2020年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表：2019-2020年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表：2020-2021年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表：2020-2021年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表：2020-2021年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表：林德集团发展历程
图表：林德集团电子领域产品概况
图表：林德集团气体种类及应用领域
图表：林德集团四大突破性技术
图表：2018-2019年林德集团综合收益表
图表：2018-2019年林德集团分部资料
图表：2018-2019年林德集团收入分地区资料
图表：2019-2020年林德集团综合收益表
图表：2019-2020年林德集团分部资料
图表：2019-2020年林德集团收入分地区资料
图表：2020-2021年林德集团综合收益表
图表：2020-2021年林德集团分部资料
图表：2020-2021年林德集团收入分地区资料
图表：液化空气发展历程
图表：液化空气电子领域业务概况
图表：法国液空电子材料种类及应用领域
图表：液化空气高效的工业网络组织
图表：液化空气四大战略支柱
图表：2018-2019年法国液空集团综合收益表
图表：2018-2019年法国液空集团分部资料
图表：2018-2019年法国液空集团收入分地区资料
图表：2019-2020年法国液空集团综合收益表
图表：2019-2020年法国液空集团分部资料
图表：2019-2020年法国液空集团收入分地区资料
图表：2020-2021年法国液空集团综合收益表
图表：2020-2021年法国液空集团分部资料
图表：2020-2021年法国液空集团收入分地区资料
图表：日本酸素业务概况
图表：日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表：日本酸素扩展五大功能
图表：日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表：日本酸素的全球化销售网络
图表：2018-2019年日本酸素公司综合收益表
图表：2018-2019年日本酸素公司分部资料
图表：2018-2019年日本酸素公司收入分地区资料
图表：2019-2020年日本酸素公司综合收益表
图表：2019-2020年日本酸素公司分部资料
图表：2019-2020年日本酸素公司收入分地区资料
图表：2020-2021年日本酸素公司综合收益表
图表：2020-2021年日本酸素公司分部资料
图表：2020-2021年日本酸素公司收入分地区资料
图表：昭和电工业务概况
图表：昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表：2018-2019年昭和电工株式会社综合收益表
图表：2018-2019年昭和电工株式会社分部资料
图表：2018-2019年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表：2019-2020年昭和电工株式会社综合收益表
图表：2019-2020年昭和电工株式会社分部资料
图表：2019-2020年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表：2020-2021年昭和电工株式会社综合收益表
图表：2020-2021年昭和电工株式会社分部资料
图表：2020-2021年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表：日本太阳日酸发展历史
图表：日本太阳日酸气体种类及应用领域
图表：关东化工气体种类及应用领域
图表：艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表：华特气体发展历程
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年广东华特气体股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表：2016-2020年华特气体分业务营业收入占比
图表：华特气体按产品分收入结构
图表：华特气体业务模式及主要客户
图表：华特气体产品情况
图表：华特气体核心技术及优势
图表：2016-2020年华特气体研发支出趋势
图表：公司主要特气产能及募投产能情况
图表：金宏气体历史沿革
图表：金宏气体七大工艺
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年苏州金宏气体股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表：2020年金宏气体营收占比
图表：金宏气体部分产品国内市场份额
图表：金宏气体特气产能及规划
图表：金宏气体主要气体产品
图表：金宏气体核心技术对比
图表：2016-2020年金宏气体研发趋势
图表：雅克科技发展历程
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表：雅克科技特种气体客户
图表：2020年雅克科技营收构成
图表：雅克科技产品构成
图表：雅克电子特气解析
图表：雅克科技主要产品产能情况
图表：南大光电历史沿革
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表：2020年南大光电营收占比
图表：飞源特气客户情况
图表：南大光电特气产能情况
图表：南大光电气体产品
图表：2016-2020年南大光电研发趋势
图表：昊华科技发展历程
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表：2020年昊华科技主营业务占比
图表：昊华科技特气产能扩张规划
图表：昊华科技气体产品线
图表：昊华科技气体扩产
图表：2018-2020年昊华科技研发趋势
图表：凯美特气历史沿革
图表：凯美特气力求实现电子特气原料、生产、包装、检测完整产业闭环
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表：2021年凯美特气营收占比
图表：2020-2021年凯美特气电子特气销售情况
图表：凯美特气子公司及产品布局
图表：2016-2020年凯美特气研发趋势
图表：凯美特气第一期电子特气产品
图表：和远气体历史沿革
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表：2019-2020年湖北和远气体股份有限公司营业收入分产业、产品、地区
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表：2018-2021年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表：2020年和远气体营收占比
图表：和远气体产品与供应布局
图表：和远气体核心技术
图表：2016-2020年和远气体研发趋势
图表：杭氧股份产品线
图表：杭氧股份6大供气模式
图表：巨化股份产品线
图表：巨化股份电子级气体
图表：正帆科技历史沿革
图表：正帆科技业务布局
图表：正帆科技高纯特气产品
图表：正帆科技下游客户
图表：2020年正帆科技营收构成
图表：派瑞特气现有产能及规划产
图表：博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表：绿菱公司历史沿革
图表：绿菱公司产线及纯度
图表：硅烷科技硅烷产品现有及拟在建产能
图表：同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表：太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表：大基金二期细化情况梳理
图表：成都科美特拥有的技术储备
图表：成都科美特拥有的技术储备（续）
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目建设周期
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目投资明细
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目未来盈利情况
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目营业收入预测
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目成本费用测算
图表：雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目经济效益测算
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目总体投资明细
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目基建投资明细
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目设备投资明细
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目收入预测
图表：2017-2020年南大光电三氟化氮平均价格
图表：南大光电三氟化氮产品销售收入预测
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测
图表：南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测（续）
图表：正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表：正帆科技气体扩产项目投资明细
图表：金宏气体集成电路用高纯气体项目新增设备
图表：金宏气体集成电路用高纯气体项目年燃料动力消耗
图表：金宏气体集成电路用高纯气体项目建设周期
图表：金宏气体集成电路用高纯气体项目投资估算
图表：2019年部分地区半导体相关布局
